- 专利标题: 一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚
- 专利标题(英): Surface treatment method of sapphire substrate and crucible therefor
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申请号: CN201910766027.4申请日: 2019-08-19
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公开(公告)号: CN110491774A公开(公告)日: 2019-11-22
- 发明人: 冯博渊 , 丁孙安 , 李坊森 , 冯加贵 , 何高航 , 程飞宇 , 武彪
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 巩克栋
- 主分类号: H01L21/02
- IPC分类号: H01L21/02 ; C30B25/18 ; C30B33/00
摘要:
本发明涉及一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚,所述方法将蓝宝石衬底置于坩埚上,之后进行退火处理,得到表面为原子级台阶的蓝宝石衬底,本发明所述方法控制所述蓝宝石衬底与坩埚的接触面积≤蓝宝石衬底的单侧表面面积的2%,使得退火处理的过程中热量和气流在蓝宝石衬底表面的分布更加均匀,从而获得表面原子级台阶的蓝宝石衬底,且本发明所述方法的重复性高,同时,本发明还提供了一种用于蓝宝石衬底表面处理的坩埚,所述坩埚包括一端为开口端的柱形壳体,所述开口端用于放置蓝宝石衬底,使得蓝宝石衬底的表面处理过程处理效果及效率更高。
公开/授权文献
- CN110491774B 一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚 公开/授权日:2021-10-26
IPC分类: