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公开(公告)号：CN113884706A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010634316.1
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种真空互联系统，包括用于超低温扫描隧道显微镜的第一样品托、用于四探针扫描隧道显微镜的第二样品托以及小样品托，所述小样品托用于承载样品，所述第一样品托、所述第二样品托的顶部均形成有供所述小样品托插入并固定的插槽，所述小样品托可选择性地在插入所述第一样品托和所述第二样品托的插槽中。本发明还公开了一种转移真空样品托。本发明通过在超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜的样品托上开设有可供小样品托插入并固定的插槽和容置空间，使得同一小样品托可以同时适用于不同的显微镜设备，实现了样品在真空互联系统中的互联传递，可以对材料进行不同特性的测量和分析。
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公开(公告)号：CN113800241A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010527212.0
申请日：2020-06-11
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： B65G47/74
摘要： 本发明公开了一种样品托夹取装置，包括取样杆和弹性件，取样杆的第一端呈筒体结构，取样杆的第一端的外壁开设有样品托导槽和样品托摆动槽，样品托导槽贯穿第一端的端面且沿取样杆的轴向延伸，样品托摆动槽连通样品托导槽且沿取样杆的周向延伸；弹性件的一端固定在取样杆的第一端内，弹性件的另一端朝向第一端的端部延伸，用于在耳部沿样品托导槽插入取样杆时产生反向的弹性力，并在耳部沿样品托摆动槽摆动后将耳部弹性抵持在样品托导槽内。本发明还公开了一种样品托夹取方法和样品传递装置。本发明的样品托夹取装置的取样杆的尺寸也可以做得很小，使得样品托夹取装置可以满足真空互联系统的小空间内样品的抓取需求，并且可以应用到不同的设备中。
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公开(公告)号：CN110491774A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201910766027.4
申请日：2019-08-19
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明涉及一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚，所述方法将蓝宝石衬底置于坩埚上，之后进行退火处理，得到表面为原子级台阶的蓝宝石衬底，本发明所述方法控制所述蓝宝石衬底与坩埚的接触面积≤蓝宝石衬底的单侧表面面积的2％，使得退火处理的过程中热量和气流在蓝宝石衬底表面的分布更加均匀，从而获得表面原子级台阶的蓝宝石衬底，且本发明所述方法的重复性高，同时，本发明还提供了一种用于蓝宝石衬底表面处理的坩埚，所述坩埚包括一端为开口端的柱形壳体，所述开口端用于放置蓝宝石衬底，使得蓝宝石衬底的表面处理过程处理效果及效率更高。
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公开(公告)号：CN113884707B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202010633561.0
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
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公开(公告)号：CN113884707A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010633561.0
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种加热架互联组件，包括小样品托、两个电极片以及固定件，小样品托为绝缘体，其上表面用于承载样品；两个电极片相互间隔设置，每个电极片的第一端由至少一个固定件固定在小样品托上且接触样品，每个电极片的第二端伸出小样品托外，以在小样品托安装到样品托上后接触样品托上的不同的电极。本发明还公开了具有加热架互联组件的转移真空样品托。本发明可利用加热架互联组件的小样品托承载样品，并在小样品托安装到样品托上后，利用其电极片与各种样品托上对应的电极的电极接触块接触而导通，从而对小样品托上的样品进行加热，可以兼容超低温扫描隧道显微镜和四探针扫描隧道显微镜，实现两种样品的互联实验及直流加热的互联。
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公开(公告)号：CN110491774B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910766027.4
申请日：2019-08-19
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明涉及一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚，所述方法将蓝宝石衬底置于坩埚上，之后进行退火处理，得到表面为原子级台阶的蓝宝石衬底，本发明所述方法控制所述蓝宝石衬底与坩埚的接触面积≤蓝宝石衬底的单侧表面面积的2％，使得退火处理的过程中热量和气流在蓝宝石衬底表面的分布更加均匀，从而获得表面原子级台阶的蓝宝石衬底，且本发明所述方法的重复性高，同时，本发明还提供了一种用于蓝宝石衬底表面处理的坩埚，所述坩埚包括一端为开口端的柱形壳体，所述开口端用于放置蓝宝石衬底，使得蓝宝石衬底的表面处理过程处理效果及效率更高。
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公开(公告)号：CN113884523A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202010633732.X
申请日：2020-07-02
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N23/2204 , G01Q60/10 , G01Q30/10 , G01Q30/16 , H01J37/20
摘要： 本发明公开了一种转移真空样品托，包括第二托体组件，所述第二托体组件的顶面开设有容纳槽和设于所述容纳槽两相对侧的一对第二插槽，所述第二托体组件的底面开设有加热孔；两个所述第二插槽的延伸方向相同并与所述容纳槽连通，所述加热孔正对并连通所述容纳槽，用于在小样品托的宽度方向的两侧插入所述第二插槽时，供热量透过而加热小样品托上的样品。本发明还公开了一种小样品托及真空互联系统。本发明通过在超低温扫描隧道显微镜和光发射电子显微镜的样品托上开设有可供小样品托插入并固定的插槽和容置空间，使得同一小样品托可以同时适用于不同的显微镜设备，实现了样品在真空互联系统中的互联传递，可以对材料进行不同特性的测量和分析。
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公开(公告)号：CN112201581A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010987923.6
申请日：2020-09-18
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： H01L21/324 , H01L29/22 , H01L29/221 , H01L29/225
摘要： 本发明公开了一种三元化合物半导体材料的制作方法，制作方法包括：提供彼此层叠设置的氧化铝材料层和氧化镓材料层；对氧化铝材料层和氧化镓材料层进行退火处理，使氧化铝材料层的铝原子扩散到氧化镓材料层中，以获得三元化合物半导体材料。本发明还公开了一种三元化合物半导体材料，该三元化合物半导体材料通过上述的制作方法来制作。本发明解决了通过现有的制作方法来制作的三元化合物半导体材料质量较差的问题。
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