本发明涉及一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚，所述方法将蓝宝石衬底置于坩埚上，之后进行退火处理，得到表面为原子级台阶的蓝宝石衬底，本发明所述方法控制所述蓝宝石衬底与坩埚的接触面积≤蓝宝石衬底的单侧表面面积的2％，使得退火处理的过程中热量和气流在蓝宝石衬底表面的分布更加均匀，从而获得表面原子级台阶的蓝宝石衬底，且本发明所述方法的重复性高，同时，本发明还提供了一种用于蓝宝石衬底表面处理的坩埚，所述坩埚包括一端为开口端的柱形壳体，所述开口端用于放置蓝宝石衬底，使得蓝宝石衬底的表面处理过程处理效果及效率更高。