发明公开
- 专利标题: 一种用于方棒中转的机械手装置
- 专利标题(英): Manipulator device for square bar transferring
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申请号: CN201911225934.4申请日: 2019-12-04
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公开(公告)号: CN110815166A公开(公告)日: 2020-02-21
- 发明人: 吴广忠 , 张笑笑 , 赵晓 , 东野广俊 , 王勇 , 宋培林 , 解培玉
- 申请人: 青岛高测科技股份有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
- 专利权人: 青岛高测科技股份有限公司
- 当前专利权人: 青岛高测科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
- 代理机构: 北京卓岚智财知识产权代理事务所
- 代理商 郭智
- 主分类号: B25J5/02
- IPC分类号: B25J5/02 ; B25J9/02 ; B25J15/08 ; B25J11/00 ; B24B41/00 ; B24B27/00 ; B24B41/06
摘要:
本发明涉及一种用于方棒中转的机械手装置,属于半导体晶硅加工设备领域,包括中转框架,所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件,所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件,所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元,所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接,在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节,能够抓取不同长度和宽度的方棒,具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。
公开/授权文献
- CN110815166B 一种用于方棒中转的机械手装置 公开/授权日:2024-11-15
IPC分类: