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公开(公告)号：CN113954256B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202111285320.2
申请日：2021-11-01
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种硅棒切割系统的上下料装置及硅棒切割系统。上下料装置，包括：L形的圆棒上料架；上下料支撑框架，所述圆棒上料架和所述上下料支撑框架转动连接；上料翻转驱动装置，分别与上下料支撑框架的底部和所述圆棒上料架的外底固定，所述上料翻转驱动装置用于带动所述圆棒上料架自所述圆棒上料架的初始位置翻转90度；上料处理单元，用于控制上料翻转驱动装置以控制所述圆棒上料架先加速翻转，在所述圆棒上料架翻转到达预设角度时，降低所述圆棒上料架的翻转速度直至翻转到90度。硅棒切割系统包括上述上下料装置。本申请实施例在上料时对硅棒的冲击较小。(56)对比文件刘建;吴波.基于Workbench对硅片切割加工夹具的优化设计.机械设计与制造.2020,(第03期),218-220.李林;戴鑫辉;段景波;赵晓;徐公志;乔石.硅棒磨抛一体机的设计与应用.机械研究与应用.2020,(第02期),108-110.贾曦;乐栋贤.浅析硅单晶线锯开方的工艺控制.中国新技术新产品.2011,(第24期),146.
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公开(公告)号：CN111828586A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010807508.8
申请日：2020-08-12
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
IPC分类号： F16H37/12
摘要： 本发明公开了一种旋转抬升机构，其包括运动体、与运动体连接用于带动运动体升降的丝杆螺母机构、齿轮传动机构、与齿轮传动机构连接用于驱动齿轮传动机构运行的驱动机构，所述丝杆螺母机构包括丝杆、螺接于丝杆上的螺母，所述齿轮传动机构与螺母连接且通过带动螺母旋转实现丝杆与运动体升降。本发明对安装空间灵活性和传动稳定性都有很大的改善，多个丝杆螺母机构做支撑可均匀平稳的传递运动，不会使丝杆上的运动体出现因单侧受力而导致顶偏现象的发生，另外可根据需要灵活设定动力源电机位置，有效解决了空间安装受限的问题。
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公开(公告)号：CN117681326A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311735095.7
申请日：2021-11-01
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种硅棒切割系统，包括切割装置；切割装置包括硅棒夹头机构，硅棒夹头机构包括：夹头架；上浮动头；夹头架能够上下运动且上浮动头用于压在竖向放置的硅棒的上端面；上浮动头本身能够进行预设角度的倾斜将切割产生的应力减小或抵充掉；扶边皮支架，与夹头架连接且能够向下伸出及向上复位，扶边皮支架用于向下伸出且扶在硅棒的外周面，扶边皮支架还用于向上复位离开硅棒的外周面；扶边皮支架包括：扶边皮支架安装件，与夹头架固定；扶杆固定件和边皮扶杆，边皮扶杆固定在扶杆固定件远离上浮动头的一侧且向下伸出；扶边皮驱动装置，分别与扶边皮支架安装件和扶杆固定件连接，用于带动扶杆固定件和边皮扶杆向下伸出及向上复位。
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公开(公告)号：CN111846734A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010808572.8
申请日：2020-08-12
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
IPC分类号： B65G1/06
摘要： 本发明公开一种立体升降式修正轮存取装置，其包括储物仓，储物仓包括第一支撑架、设置于第一支撑架内用于储存修正轮的储物层、用于实现储物层升降的升降机构，升降机构包括电机、与电机连接的齿轮、与齿轮啮合的齿条，齿条设置于第一支撑架上，储物层与电机连接，电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现储物层的升降，第一支撑架上设置有用于实现修正轮进出的修正轮出入口。本发明中储物仓为多层存放空间可存放多个修正轮，并且储物仓具有自动升降功能，可自动将修正轮运输至适当高度位置，修正轮可沿导向板在过渡升降台和储物仓之间来回移动，取放物料便捷，减少人工搬运物料参与度，占地空间小，有效提高空间利用率。
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公开(公告)号：CN111843967A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010807527.0
申请日：2020-08-12
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
摘要： 本发明公开一种可升降的硅片储存装置，其包括框架、设置在框架上的升降台、设置于升降台上用于存储硅片的储存箱、及设置于升降台底部用于抬升升降台的动力装置，所述动力装置包括固定设置在升降台底部的减速电机、与减速电机电机轴连接的齿轮、及设置在框架上与齿轮啮合的齿条，减速电机带动齿轮转动，通过齿条的配合实现升降台的升降，从而实现储存箱的升降，该装置能将研磨机研磨好的硅片进行储存，同时能对硅片上残留的研磨液进行清洗，并且能自动计数硅片数量，实现将研磨机处理后的储存到该装置内的硅片半自动的进行清洗，向下运输及快速计数，将多步工作一次完成，大大提高了生产效率，减少了人力成本，及人工计数所带来的误差，适合推广。
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公开(公告)号：CN113954256A
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202111285320.2
申请日：2021-11-01
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
摘要： 本申请实施例提供了一种硅棒切割系统的上下料装置及硅棒切割系统。上下料装置，包括：L形的圆棒上料架；上下料支撑框架，所述圆棒上料架和所述上下料支撑框架转动连接；上料翻转驱动装置，分别与上下料支撑框架的底部和所述圆棒上料架的外底固定，所述上料翻转驱动装置用于带动所述圆棒上料架自所述圆棒上料架的初始位置翻转90度；上料处理单元，用于控制上料翻转驱动装置以控制所述圆棒上料架先加速翻转，在所述圆棒上料架翻转到达预设角度时，降低所述圆棒上料架的翻转速度直至翻转到90度。硅棒切割系统包括上述上下料装置。本申请实施例在上料时对硅棒的冲击较小。
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公开(公告)号：CN111843816A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010807516.2
申请日：2020-08-12
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/013 , B24B37/04 , B24B37/08 , B24B37/28 , B24B37/34 , B24B41/00 , B24B41/02 , B24B47/12 , B24B47/20 , B24B49/00 , B24B53/017 , B24B57/02 , H01L21/304
摘要： 本发明公开了一种半导体硅片双面研磨设备，其包括主机，主机包括上下设置的上盘组件及下盘组件，上盘组件包括上研磨盘，下盘组件包括与上研磨盘对向设置的下研磨盘，下研磨盘的底部设置有用于带动下研磨盘平稳转动的静压回转支撑装置，连接静压回转支撑装置设置有第一驱动机构。本发明提出的半导体硅片双面研磨设备，采用了静压回转支撑装置保证下研磨盘转动的平稳性能，对上下研磨盘的研磨压力可以实现准确控制；采用了双层防落装置，可极大提高该设备的安全使用的可靠性，实现了上下研磨盘的各种转速配比，支撑横梁及支撑横梁上的上研磨盘可以转出设备操作空间方便对上下研磨盘的更换，配置悬臂吊及修正轮库可方便的取放和保存修正轮。
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公开(公告)号：CN110815166A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911225934.4
申请日：2019-12-04
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于方棒中转的机械手装置，属于半导体晶硅加工设备领域，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，能够抓取不同长度和宽度的方棒，具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。
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公开(公告)号：CN111805253A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010808596.3
申请日：2020-08-12
申请人： 青岛高测科技股份有限公司
IPC分类号： B23Q1/01
摘要： 本发明公开了一种可转动横梁支撑装置，其特征在于，包括用于支撑悬挂部件的支撑横梁、主立柱及支撑立柱，所述支撑横梁设置于主立柱及支撑立柱的上方，所述支撑横梁的一端与主立柱转动连接，所述支撑横梁的另一端与支撑立柱可拆卸连接，所述悬挂部件连接于支撑横梁上。本发明提出了一种可转动横梁支撑装置，该装置可对悬挂部件实现空间位置支撑，整个横梁可绕一端支柱做转动，横梁支撑装置的中间横梁装置设置有升降气缸，可实现悬挂部件的竖直升降功能，整个装置结构简单，使用方便，利于推广。
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