发明授权
- 专利标题: 微机械装置和相应的制造方法
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申请号: CN201880051381.2申请日: 2018-07-30
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公开(公告)号: CN110997555B公开(公告)日: 2023-09-26
- 发明人: R·施特劳布 , T·施泰格特 , S·平特 , J·巴德尔 , N·肖尔
- 申请人: 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址: 德国斯图加特
- 专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人: 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址: 德国斯图加特
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 侯鸣慧
- 国际申请: PCT/EP2018/070579 2018.07.30
- 国际公布: WO2019/030040 DE 2019.02.14
- 进入国家日期: 2020-02-07
- 主分类号: B81B7/00
- IPC分类号: B81B7/00
摘要:
本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2);罩衬底(2a),其中,在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3);其中,所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a);其中,所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖,使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径;并且,其中,在所述沟槽(3)的区域中在所述基础衬底(2)和所述罩衬底(2a)之间构造有封闭介质、尤其是密封玻璃封闭部(5)。
公开/授权文献
- CN110997555A 微机械装置和相应的制造方法 公开/授权日:2020-04-10