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公开(公告)号：CN110997555A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051381.2
申请日：2018-07-30
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/00
摘要： 本发明实现一种微机械装置和一种相应的制造方法。微机械装置包括具有前侧(V)和后侧(R)的基础衬底(2)；罩衬底(2a)，其中，在所述基础衬底(2)的所述前侧(V)中构造具有不平整的侧壁(3a)的至少一个环绕的沟槽(3)；其中，所述基础衬底(2)的所述前侧(V)和所述沟槽(3)涂覆有至少一个金属层(4、4a)；其中，所述沟槽(3)的所述不平整的侧壁(3a)不一致地被金属(4、4a)覆盖，使得所述不平整的侧壁在垂直于所述前侧(V)走向的方向上不形成电流路径；并且，其中，在所述沟槽(3)的区域中在所述基础衬底(2)和所述罩衬底(2a)之间构造有封闭介质、尤其是密封玻璃封闭部(5)。
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公开(公告)号：CN104843629B
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201510079599.7
申请日：2015-02-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
摘要： 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18‑i，26‑i)电接通。
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公开(公告)号：CN104418290B
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201410424715.X
申请日：2014-08-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： 本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。
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公开(公告)号：CN108027506A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680054336.3
申请日：2016-07-18
申请人： 罗伯特·博世有限公司
发明人： B·施托伊尔 , R·施特劳布 , S·平特 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , J·穆霍
CPC分类号： G02B26/085 , B81B3/0018 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： 本发明提供一种致动器设备(100；200、300；400)和一种用于使致动器设备翻转的方法。所述方法包括以下步骤：使电流(I)在通过致动器设备(100；200；300；400)的永磁体装置(130‑i；230‑i；430‑i)所产生的第一磁场(11)内部传导(SO1)通过电线路装置(150；250；350)，该电线路装置被引导经过致动器设备(100；200；300；400)的翻转装置(110；310)，使得由于洛伦兹力(31、32)使翻转装置(110；310)的致动器元件(112；312)沿着第一翻转轴线(A)翻转；并且通过致动器设备(100；200；300；400)的电磁体装置(125、129)在永磁体装置(130‑i；230‑i；430‑i)的区域中产生(S02)第二磁场，使得由于磁性的吸引和排斥使翻转装置(110；310)沿着第二翻转轴线(B)翻转。
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公开(公告)号：CN104843634A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079465.5
申请日：2015-02-13
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： H01L21/311 , B81C1/00801 , B81C2201/014 , H01L21/02118 , H01L21/02164 , H01L21/02178 , H01L21/02271 , H01L21/02274 , H01L21/0228
摘要： 本发明涉及一种用于通过以下方式结构化由两个半导体层与位于两个半导体层之间的绝缘层和/或蚀刻停止层组成的层结构的方法：在两个半导体层中的第一半导体层的第一侧上构造第一蚀刻掩膜；实施从第一外侧出发的用于结构化第一半导体层的第一蚀刻步骤，在两个半导体层中的第二半导体层的第二侧上构造第二蚀刻掩膜；实施从第二外侧出发的用于结构化第二半导体层的第二蚀刻步骤，其中，在实施第一蚀刻步骤之后并且在实施第二蚀刻步骤之前，在至少一个在第一蚀刻步骤中蚀刻的第一沟槽的至少一个沟槽壁上沉积至少一种蚀刻保护材料。本发明同样涉及一种用于微机械部件的制造方法。此外，本发明涉及一种微机械部件。
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公开(公告)号：CN104418290A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410424715.X
申请日：2014-08-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
CPC分类号： G02B26/0858
摘要： 本发明提供了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。该构件具有：一框架(40)；一板簧(20)，其与所述框架(40)连接，并且板簧具有前侧面(F20)和背侧面(B20)，背侧面与前侧面(F20)背离；一反射镜元件(10)，其布置在板簧(20)的前侧面(F20)上并且与所述板簧(20)的前侧面(F20)以如下方式连接，即，反射镜元件(10)能调节地悬挂在框架(40)上；和至少一个压电条(30、31)，至少一个压电条与板簧(20)的背侧面(B20)连接；其中，通过施加电压到至少一个压电条(30、31)上，板簧(20)能够为了调节反射镜元件(10)而弹性地变形。
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公开(公告)号：CN111629991B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201880086088.X
申请日：2018-11-30
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种内插器衬底、一种MEMS设备以及一种相应的制造方法。内插器衬底(1)配备有前侧(VS)和后侧(RS)；从所述后侧(RS)出发的腔(K1a；K1b)，该腔延伸直至第一深度(t1)；贯通开口(V)；和布置在所述腔(K1a；K1b)和所述贯通开口(V)之间的沉降区域(ST1；ST2)，所述沉降区域从所述后侧(RS)出发相对于所述后侧(RS)沉降直至第二深度(t2)；其中，所述第一深度(t1)大于所述第二深度(t2)。
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公开(公告)号：CN106030374B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580008827.X
申请日：2015-01-21
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
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公开(公告)号：CN104418293B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201410426178.2
申请日：2014-08-26
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/02
摘要： 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22‑25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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公开(公告)号：CN103787265B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310756891.9
申请日：2013-10-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B81B7/02
摘要： 本发明涉及一种机械部件，所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b)，所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接，其中，所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b)，所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和／或中的第一电阻，所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和／或中的第二电阻，其中，所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b)，其中，所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。
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