- 专利标题: 一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法
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申请号: CN201911407364.0申请日: 2019-12-31
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公开(公告)号: CN111015301B公开(公告)日: 2021-01-05
- 发明人: 王绍帅 , 薛宏宇 , 李玉鹏 , 夏乾坤 , 陈明 , 张延宾 , 万小勇 , 李勇军
- 申请人: 有研亿金新材料有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区超前路33号
- 专利权人: 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人: 有研亿金新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区超前路33号
- 代理机构: 北京众合诚成知识产权代理有限公司
- 代理商 史双元
- 主分类号: B23Q3/06
- IPC分类号: B23Q3/06 ; B23P13/02
摘要:
本发明公开了一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法,所述加工方法包括以下步骤:1:根据待加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔;2:在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让刀区域;3:将待加工溅射环设置在主体工装和工装内撑之间,盖上紧固盖板,并通过主体工装、工装内撑和紧固盖板上预留的安装孔,将待加工溅射环紧固在加工工装上,在主体工装圆周方向上加工出孔位;4:在开口区域的两端进行固定,通过定位销对待加工溅射环进行定位;5:对开口区域的待加工溅射环加工出开口,使用圆弧成型刀完成开口区域的圆弧加工;6:松开螺栓、垫片和螺母,去除紧固盖板,取出工装内撑,取下溅射环,进行检验并包装备存。
公开/授权文献
- CN111015301A 一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法 公开/授权日:2020-04-17
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