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公开(公告)号：CN109267021A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811480260.8
申请日：2018-12-05
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法及其制品。本发明通过对靶坯局部区域进行变形，降低靶材的磁导率，进而对靶材结构进行设计，增加溅射区域厚度，制备长寿命镍铁合金溅射靶材。本发明制备方法简单，可以明显增加靶材使用寿命，改善制备薄膜均匀性，提高靶材利用率，降低成本。
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公开(公告)号：CN111015301B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201911407364.0
申请日：2019-12-31
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：1：根据待加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔；2：在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让刀区域；3：将待加工溅射环设置在主体工装和工装内撑之间，盖上紧固盖板，并通过主体工装、工装内撑和紧固盖板上预留的安装孔，将待加工溅射环紧固在加工工装上，在主体工装圆周方向上加工出孔位；4：在开口区域的两端进行固定，通过定位销对待加工溅射环进行定位；5：对开口区域的待加工溅射环加工出开口，使用圆弧成型刀完成开口区域的圆弧加工；6：松开螺栓、垫片和螺母，去除紧固盖板，取出工装内撑，取下溅射环，进行检验并包装备存。
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公开(公告)号：CN111015301A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911407364.0
申请日：2019-12-31
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：1：根据待加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔；2：在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让刀区域；3：将待加工溅射环设置在主体工装和工装内撑之间，盖上紧固盖板，并通过主体工装、工装内撑和紧固盖板上预留的安装孔，将待加工溅射环紧固在加工工装上，在主体工装圆周方向上加工出孔位；4：在开口区域的两端进行固定，通过定位销对待加工溅射环进行定位；5：对开口区域的待加工溅射环加工出开口，使用圆弧成型刀完成开口区域的圆弧加工；6：松开螺栓、垫片和螺母，去除紧固盖板，取出工装内撑，取下溅射环，进行检验并包装备存。
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公开(公告)号：CN207642214U
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201721572065.9
申请日：2017-11-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种靶材背板快速成型装置，所述装置包括外圆环和冲压头，将加热坯料置于成型装置外圆环内，采用锻锤将冲压头压入坯料表面，使坯料充满成型装置，实现靶材背板快速成型。本实用新型适用于铝合金、铜及铜合金背板加工，采用快速成型装置，不仅能简化工序，提高加工效率，提升成品率，还能极大的降低成本。
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公开(公告)号：CN211689221U
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201921774694.9
申请日：2019-10-22
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开了属于半导体靶材溅射技术领域的一种内部含水道槽的背板及靶材。本实用新型提供的背板包括底板和盖板，所述水道槽密封于底板和盖板之间；所述水道槽为设置在底板上、围绕底板中心并折叠延伸形成2圈水路的凹槽结构；本实用新型提供的靶材包括靶坯和与靶坯结合使用的内部含水道槽的背板。本实用新型提供的背板能有效降低溅射过程中产生的高温，且底面为平面，不易发生变形，重复使用次数可达10次以上。
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公开(公告)号：CN204643536U
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201520241026.5
申请日：2015-04-20
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B66C1/02
摘要： 本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，涉及一种大尺寸靶材吊运装置，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统。通过主横梁和支撑梁进行快速组合，形成不同长度和宽度的工装。与现有吊运工装相比，增加了气动吸盘，降低了零件吊运时的磕碰划伤，获得了更好的零件表面质量。并且对吸盘进行了合理布局，在零件重心位置增加吸盘数量，有效的缓解了零件在吊运过程中的变形问题，可以获得平面度更好的靶材。结构简单，可以任意组合，根据所需吊运的零件快速组合成所需工装，减少了专用工装数量，降低了工装成本。
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公开(公告)号：CN209256427U
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201821777695.4
申请日：2018-10-31
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种普车加工不规则坯料外径的装夹装置。其包括前装夹圆板和后装夹圆板，前装夹圆板两个面分别是普车装夹面和坯料装夹面，后装夹圆板一侧为坯料装夹面，另一侧为普车连接面，普车连接面中心设与普车顶尖配合使用的圆孔，前装夹圆板和后装夹圆板之间装夹坯料的“三明治”装夹装置，消除了装夹偏心，避免了普车直接装夹不牢靠造成的安全隐患，也避免了多次装夹找正的繁琐，保证了装夹可靠，减少了装夹时间。
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公开(公告)号：CN207487542U
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201721391468.3
申请日：2017-10-25
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本实用新型公开属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种磁控溅射环的尺寸检验工装，该检验工装包括：检验圆环体、绝缘陶瓷垫块、绝缘陶瓷筒、绝缘陶瓷垫片、边缘固定销钉和中心固定销钉。该检验工装内径与相应溅射环装机设备的遮挡罩几何尺寸相同。通过溅射环与检验工装的装配、溅射环的开口宽度、溅射环与检验工装的绝缘电阻值来进行溅射环的尺寸检验。磁控溅射环材质为Ti、Ta、Cu等。由于溅射环为开口的弹性环，常规的三坐标、游标卡尺、或影像测量仪等测量方法难以测量准确，而本实用新型涉及的溅射环的尺寸检验工装，尺寸检验结果可靠，从而避免了溅射环产品在客户端安装失效等问题。
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公开(公告)号：CN206622765U
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201621443668.4
申请日：2016-12-27
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23K33/00
摘要： 本实用新型涉及一种靶材焊接结构，包括靶坯和背板，在靶坯或背板的焊接面的边缘周圈设有凸台，形成定位部，背板或靶坯能够刚好嵌入所述定位部之间，能够实现靶坯与背板的便捷、快速定位。进一步地，在靶坯或背板的焊接面上，沿所述定位部内侧的周圈设有凸台，形成边缘支撑部，且所述边缘支撑部低于所述定位部。边缘支撑部内侧的凹槽为焊料容纳区，能够在不垫丝的情况下保证焊料厚度。再进一步地，在靶坯或背板的焊接面的中部，还可以设有中心支撑部加强支撑。边缘支撑部和中心支撑部能够加强支撑，特别适用于材料较软的靶材。
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公开(公告)号：CN206298638U
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201621444377.7
申请日：2016-12-27
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 本实用新型属于磁控溅射靶材生产领域，尤其涉及一种保护气氛快速冷却装置。为解决当前采用的冷却方式冷却时间长、生产效率低以及易混入氧气，造成轻微氧化的问题。本实用新型提出一种保护气氛快速冷却装置，包括箱体1、密封圈2、真空泵接口3、惰性气体接口4、空气接口5、箱门6、空调蒸发器7以及空调蒸发器外罩8。相比于当前在真空环境下冷却或放入氮气柜中冷却的方法，本装置具有抽真空的功能，可以有效去除氧气，并可以充入惰性气体，利用空调蒸发器强制冷却惰性气体，使易氧化的磁控溅射靶材的降温过程始终处于保护性气氛下，从而避免靶材发生氧化，提高产品表面质量。本装置同时还具有操作简单、冷却速度快、安全可靠等优点。
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