一种气密封装器件及气密封装方法
摘要:
本发明公开了一种气密封装器件及气密封装方法,气密封装器件包括:封装外壳,采用陶瓷基板作为封装底板,陶瓷基板设有贯穿陶瓷基板的上表面和下表面的第一通孔,陶瓷基板的第一通孔内部填充金属,第一通孔内的金属记为第一金属柱;至少两个第一芯片,安装在所述封装外壳的内部、且设置在所述陶瓷基板上,第一芯片的焊盘通过键合线与陶瓷基板上的第一金属柱连接;隔离墙,设置在封装外壳内将封装外壳分成不同的气密腔,需要隔离的第一芯片设置在不同的气密腔中。本发明通过在封装外壳内设置隔离墙,隔离墙将需要隔离的芯片隔离,是芯片之间互不干扰,提高了气密封装器件的隔离度,进而提升了气密封装器件的性能。
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