发明公开
- 专利标题: 一种气密封装器件及气密封装方法
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申请号: CN201911155010.1申请日: 2019-11-22
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公开(公告)号: CN111029310A公开(公告)日: 2020-04-17
- 发明人: 赵瑞华 , 李仕俊 , 徐达 , 常青松 , 史光华 , 张延青 , 许景通 , 冯越江 , 徐永祥 , 谢永康 , 郝金中
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市合作路113号
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 秦敏华
- 主分类号: H01L23/31
- IPC分类号: H01L23/31 ; H01L21/56 ; H01L21/768 ; H01L23/367 ; H01L23/48 ; H01L25/18
摘要:
本发明公开了一种气密封装器件及气密封装方法,气密封装器件包括:封装外壳,采用陶瓷基板作为封装底板,陶瓷基板设有贯穿陶瓷基板的上表面和下表面的第一通孔,陶瓷基板的第一通孔内部填充金属,第一通孔内的金属记为第一金属柱;至少两个第一芯片,安装在所述封装外壳的内部、且设置在所述陶瓷基板上,第一芯片的焊盘通过键合线与陶瓷基板上的第一金属柱连接;隔离墙,设置在封装外壳内将封装外壳分成不同的气密腔,需要隔离的第一芯片设置在不同的气密腔中。本发明通过在封装外壳内设置隔离墙,隔离墙将需要隔离的芯片隔离,是芯片之间互不干扰,提高了气密封装器件的隔离度,进而提升了气密封装器件的性能。
IPC分类: