三维微波模块电路结构及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种三维微波模块电路结构及其制备方法,属于微电子封装领域,包括下层基板、下层电路元件、金属外壳、上层基板及上层电路元件,上层基板通过第一焊球与下层基板连接,下层基板上设有第二焊球;上层基板上设有第一过孔,第一过孔内设第一导电构件,下层基板上设第二过孔,第二过孔内设有第二导电构件,上层电路元件通过第一导电构件与第一焊球导电连接,第一焊球和下层电路元件分别与第二导电构件导电连接,第二导电构件与第二焊球导电连接。本发明提供的三维微波模块电路结构及其制备方法,使得基板与封装一体化,电路结构平面尺寸小,信号路径短,有效降低上层电路基板的接地寄生效应。
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