发明授权
- 专利标题： 用于裸片到裸片检验的适应性关注区域
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申请号： CN201880065545.7申请日： 2018-10-17
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公开(公告)号： CN111194479B公开(公告)日： 2023-10-27
- 发明人: H·法加里亚 , J·劳贝尔 , 永·张
- 申请人： 科磊股份有限公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人： 科磊股份有限公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律盟知识产权代理有限责任公司
- 代理商 刘丽楠
- 国际申请： PCT/US2018/056209 2018.10.17
- 国际公布： WO2019/079389 EN 2019.04.25
- 进入国家日期： 2020-04-08
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; G01N21/94 ; G01N21/88
摘要：
本发明描述用于使用适应性关注区域ACA来执行裸片图像的缺陷检验的方法、系统及制品。使用ACA解决以下问题：处置需要旋转关注区域的组件的旋转；处置其中每一关注区域自身需要旋转、平移或仿射变换的情形；及使由缺陷或工艺变动引起的强度差与由大小变动引起的强度差解耦的情形。
公开/授权文献
- CN111194479A 用于裸片到裸片检验的适应性关注区域 公开/授权日：2020-05-22