- 专利标题： 一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法
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申请号： CN202010125615.2申请日： 2020-02-27
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公开(公告)号： CN111312639A公开(公告)日： 2020-06-19
- 发明人: 邓信甫 , 李志峰 , 庄海云 , 徐铭 , 陈佳炜
- 申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
- 申请人地址： 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
- 专利权人： 至微半导体(上海)有限公司,江苏启微半导体设备有限公司
- 当前专利权人： 至微半导体(上海)有限公司,江苏启微半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市闵行区紫海路170号1幢3层03室
- 代理机构： 北京沁优知识产权代理事务所
- 代理商 蔡岩岩
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/67 ; H01L21/687 ; B25J9/00 ; B25J9/10 ; B25J9/12 ; B25J15/02 ; B25J15/08 ; B25J19/02
摘要：
本发明提供一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法，夹持移动装置包括用于夹持晶圆托篮的夹持机构、用于驱动夹持机构进行夹持运作的驱动机构、固定在驱动机构底部用于升降驱动的升降机构以及固定于升降机构一侧用于横向移动驱动的横向移动机构。本发明能够有效降低在移动托篮时的振动，以解决现有的减少机械手臂在移动晶圆托篮时存在振动而导致晶圆损坏的问题。
公开/授权文献
- CN111312639B 一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法 公开/授权日：2022-03-18
IPC分类:
