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公开(公告)号：CN111312627B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202010125638.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆干燥的提升氮气移除水分子的能力的方法，包括在干燥腔室外侧壁设计一维持热氮气稳定的热动能的阳极氧化保温层，且所述阳极氧化保温层内嵌有辅助型管式加热器用于进行辅助加热；以及，通过在干燥腔室外侧壁和干燥腔室内侧壁分别置入用于侦测温度的电子温度计并联动侦测对应于内外两侧的温度差异来控制辅助型管式加热器的加热，以达成对干燥腔室内热氮气的温度的控制以及调节；还包括将干燥腔室底部设计成带有向下的倾斜角度的锥形结构以使得异丙醇液体在排放时可形成螺旋式流动分布。本发明提供了一种能够提升加热氮气移除水分子的能力的方法。
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公开(公告)号：CN111276433B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202010125610.X
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种提高晶圆干燥质量的热氮喷射方法，所述热氮喷射方法包括利用热氮气供应器通过第一入口向干燥腔室内部通入恒温恒压的热氮气，所述气体喷流模组依据通气调整策略向干燥腔室内部通入经加热过的第一惰性气体；所述气体喷流模组包括若干可调节喷气流量的喷嘴，所述通气调整策略包括用于调整喷嘴喷射热氮气的通断时间的通断时间控制步骤，所述热氮喷射方法还包括用于增加热氮气在干燥腔室内部留存时间的扰流策略。本发明通过在第一入口处设置气体喷流模组使热氮气具有提供足够的动能，并在第一入口处设置有用于使喷嘴喷射出的热氮气迅速均匀布满整个干燥腔室的微孔阵列板，使晶圆上的水分能够被均匀干燥掉，提高了晶圆的干燥质量。
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公开(公告)号：CN111276433A
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN202010125610.X
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种提高晶圆干燥质量的热氮喷射方法，所述热氮喷射方法包括利用热氮气供应器通过第一入口向干燥腔室内部通入恒温恒压的热氮气，所述气体喷流模组依据通气调整策略向干燥腔室内部通入经加热过的第一惰性气体；所述气体喷流模组包括若干可调节喷气流量的喷嘴，所述通气调整策略包括用于调整喷嘴喷射热氮气的通断时间的通断时间控制步骤，所述热氮喷射方法还包括用于增加热氮气在干燥腔室内部留存时间的扰流策略。本发明通过在第一入口处设置气体喷流模组使热氮气具有提供足够的动能，并在第一入口处设置有用于使喷嘴喷射出的热氮气迅速均匀布满整个干燥腔室的微孔阵列板，使晶圆上的水分能够被均匀干燥掉，提高了晶圆的干燥质量。
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公开(公告)号：CN111211043A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010126052.9
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于提升晶圆干燥效率的干燥方法，包括：步骤S1、将待干燥晶圆片置入晶圆容纳室内并使每个晶圆片均置入对应的洗涤槽内且相互之间间隔以形成晶圆片间隙；步骤S2、将恒温恒压气体供应器的输出端口与第一入口密封连接并使第一入口按照通气调整策略向干燥腔室内部通入恒温恒压气体以提高晶圆片干燥效率；步骤S3、惰性气体经第一入口沿经过晶圆片的至少三条气体流通路径流动至干燥腔室内远离第一入口的一侧，并于该一侧流入夹层区的内部；步骤S4、惰性气体在夹层区内远离第一入口一侧流入至靠近第一入口另一侧后经由第一出口排出。本发明通过夹层区的设计以及气体流通路径的改善，提高了晶圆干燥效率。
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公开(公告)号：CN111211043B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202010126052.9
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于提升晶圆干燥效率的干燥方法，包括：步骤S1、将待干燥晶圆片置入晶圆容纳室内并使每个晶圆片均置入对应的洗涤槽内且相互之间间隔以形成晶圆片间隙；步骤S2、将恒温恒压气体供应器的输出端口与第一入口密封连接并使第一入口按照通气调整策略向干燥腔室内部通入恒温恒压气体以提高晶圆片干燥效率；步骤S3、惰性气体经第一入口沿经过晶圆片的至少三条气体流通路径流动至干燥腔室内远离第一入口的一侧，并于该一侧流入夹层区的内部；步骤S4、惰性气体在夹层区内远离第一入口一侧流入至靠近第一入口另一侧后经由第一出口排出。本发明通过夹层区的设计以及气体流通路径的改善，提高了晶圆干燥效率。
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公开(公告)号：CN111312625B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202010125613.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法，槽体结构包括外部框架，外部框架内部设置有用于晶圆清洗和干燥的槽体，槽体顶部设置为敞口结构，槽体的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱，支撑柱与外部框架连接的位置设置有固定于外部框架内壁上的支撑复位机构，槽体顶部匹配有两组对开的顶盖机构，外部框架外表面设置有用于驱动顶盖机构进行开合的驱动机构。本发明能够有效使槽体在晃动后复位，尽可能的减小槽体晃动的偏移量，以解决现有的用于晶圆清洗和干燥槽体晃动偏移的问题。
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公开(公告)号：CN111312639B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202010125615.2
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687 , B25J9/00 , B25J9/10 , B25J9/12 , B25J15/02 , B25J15/08 , B25J19/02
摘要： 本发明提供一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法，夹持移动装置包括用于夹持晶圆托篮的夹持机构、用于驱动夹持机构进行夹持运作的驱动机构、固定在驱动机构底部用于升降驱动的升降机构以及固定于升降机构一侧用于横向移动驱动的横向移动机构。本发明能够有效降低在移动托篮时的振动，以解决现有的减少机械手臂在移动晶圆托篮时存在振动而导致晶圆损坏的问题。
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公开(公告)号：CN111312639A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010125615.2
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/687 , B25J9/00 , B25J9/10 , B25J9/12 , B25J15/02 , B25J15/08 , B25J19/02
摘要： 本发明提供一种机械手臂装置及减少其晃动与振动的方法，夹持移动装置包括用于夹持晶圆托篮的夹持机构、用于驱动夹持机构进行夹持运作的驱动机构、固定在驱动机构底部用于升降驱动的升降机构以及固定于升降机构一侧用于横向移动驱动的横向移动机构。本发明能够有效降低在移动托篮时的振动，以解决现有的减少机械手臂在移动晶圆托篮时存在振动而导致晶圆损坏的问题。
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公开(公告)号：CN111312627A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010125638.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种用于晶圆干燥的提升氮气移除水分子的能力的方法，包括在干燥腔室外侧壁设计一维持热氮气稳定的热动能的阳极氧化保温层，且所述阳极氧化保温层内嵌有辅助型管式加热器用于进行辅助加热；以及，通过在干燥腔室外侧壁和干燥腔室内侧壁分别置入用于侦测温度的电子温度计并联动侦测对应于内外两侧的温度差异来控制辅助型管式加热器的加热，以达成对干燥腔室内热氮气的温度的控制以及调节；还包括将干燥腔室底部设计成带有向下的倾斜角度的锥形结构以使得异丙醇液体在排放时可形成螺旋式流动分布。本发明提供了一种能够提升加热氮气移除水分子的能力的方法。
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公开(公告)号：CN111312625A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010125613.3
申请日：2020-02-27
申请人： 至微半导体(上海)有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种槽体结构及防止其晃动偏移的方法，槽体结构包括外部框架，外部框架内部设置有用于晶圆清洗和干燥的槽体，槽体顶部设置为敞口结构，槽体的两侧分别设置有两个圆柱形支撑柱，支撑柱与外部框架连接的位置设置有固定于外部框架内壁上的支撑复位机构，槽体顶部匹配有两组对开的顶盖机构，外部框架外表面设置有用于驱动顶盖机构进行开合的驱动机构。本发明能够有效使槽体在晃动后复位，尽可能的减小槽体晃动的偏移量，以解决现有的用于晶圆清洗和干燥槽体晃动偏移的问题。
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