发明公开
CN111344637A 用于清洁的设备和方法
审中-实审
- 专利标题： 用于清洁的设备和方法
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申请号： CN201880072153.3申请日： 2018-10-16
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公开(公告)号： CN111344637A公开(公告)日： 2020-06-26
- 发明人: 阿列克谢·谢尔盖耶维奇·库兹涅佐夫 , K·比斯特罗夫 , V·Y·班尼恩 , M·A·范德柯克霍夫 , N·舒 , A·尼基帕罗夫
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王静
- 优先权： 17200266.9 2017.11.07 EP
- 国际申请： PCT/EP2018/078170 2018.10.16
- 国际公布： WO2019/091708 EN 2019.05.16
- 进入国家日期： 2020-05-07
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; B08B7/04 ; B24C1/00 ; B24C3/16 ; B24C5/04 ; H01L21/67 ; G02B27/00
摘要：
一种清洁表面以从该表面去除污染物的方法，该方法包括以下步骤：使该污染物的至少一部分氧化；以及使二氧化碳雪流从该污染物经过。一种用于清洁表面的设备，该设备包括至少一个二氧化碳雪出口和至少一个等离子体出口。一种清洁头，该清洁头包括至少一个二氧化碳雪出口和至少一个等离子体出口。
公开/授权文献
- CN111344637B 用于清洁的设备和方法 公开/授权日：2023-09-01