本发明公开一种真空传送片装置，包括：腔体(1)、滑轨导向装置(2)、机械手(3)、钢带驱动机构(4)、传感器装置(5)和腔盖(6)，其中，所述腔体(1)和腔盖(6)之间采用铰链连接，形成可开启的密闭空间，所述滑轨导向装置(2)与所述机械手(3)连接，使机械手(3)沿滑轨导向方向运动，所述钢带驱动机构(4)与机械手(3)的中间部位相连接驱动所述机械手(3)运动，所述传感器装置(5)设置在所述腔体(1)的侧面靠近端部的位置，精确控制所述机械手(3)的行程及初始、终止位置。本发明能够实现机械手的运行的精确控制，并且可以调节其运行行程，适用于多种半导体设备的晶片取送。