本发明提供一种功率半导体器件壳温多点测量装置，设置于换热器(2)上，其包括测温基板(1-1)和多个测温元件(1-2)；所述测温基板(1-1)安装于换热器(2)上，所述多个测温元件(1-2)安装于所述测温基板(1-1)上；测量时，所述多个测温元件(1-2)置于半导体功率器件的外壳上，用于对功率半导体器件壳温进行多点测量，测试过程简单，提高了测试效率和准确性；多个测温元件(1-2)实现功率半导体器件壳温的多点测量，测温基板内部的丰字型沟槽结构布置有效避开了芯片位置，对被测器件电热机械等性能影响小，容易加工；可用于不同封装形式的功率半导体器件壳温测量，通用性好。