发明授权
- 专利标题: 一种成像均匀的TDICCD图像传感器
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申请号: CN202010405982.8申请日: 2020-05-14
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公开(公告)号: CN111540760B公开(公告)日: 2022-07-08
- 发明人: 杨洪 , 白雪平 , 姜华男 , 李金 , 翁雪涛
- 申请人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 申请人地址: 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第四十四研究所
- 当前专利权人地址: 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 代理机构: 重庆乐泰知识产权代理事务所
- 代理商 刘佳
- 主分类号: H01L27/148
- IPC分类号: H01L27/148
摘要:
本发明公开了一种成像均匀的TDICCD图像传感器,包括TDICCD阵列,所述TDICCD阵列包括若干像元结构,每个所述像元结构均包括衬底和设置在所述衬底上的垂直CCD结构,所述垂直CCD结构用于传输光生信号,两个相邻的垂直CCD结构之间设有抗晕结构;所述垂直CCD结构包括第一垂直CCD驱动相、第二垂直CCD驱动相、第三垂直CCD驱动相和第四垂直CCD驱动相,两个相邻的第四垂直CCD驱动相之间设有阻挡势垒结构,所述阻挡势垒结构围设在所述抗晕结构的四周;所述衬底和垂直结构之间设有非均匀注入埋沟结构,防止光晕现象产生的同时又能有效防止漏电通道的产生,使得TDICCD能够均匀成像。
公开/授权文献
- CN111540760A 一种成像均匀的TDICCD图像传感器 公开/授权日:2020-08-14
IPC分类: