一种成像均匀的TDICCD图像传感器
摘要:
本发明公开了一种成像均匀的TDICCD图像传感器,包括TDICCD阵列,所述TDICCD阵列包括若干像元结构,每个所述像元结构均包括衬底和设置在所述衬底上的垂直CCD结构,所述垂直CCD结构用于传输光生信号,两个相邻的垂直CCD结构之间设有抗晕结构;所述垂直CCD结构包括第一垂直CCD驱动相、第二垂直CCD驱动相、第三垂直CCD驱动相和第四垂直CCD驱动相,两个相邻的第四垂直CCD驱动相之间设有阻挡势垒结构,所述阻挡势垒结构围设在所述抗晕结构的四周;所述衬底和垂直结构之间设有非均匀注入埋沟结构,防止光晕现象产生的同时又能有效防止漏电通道的产生,使得TDICCD能够均匀成像。
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