发明公开
CN111656485A 装备清洁设备和方法
审中-实审
- 专利标题： 装备清洁设备和方法
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申请号： CN201880087669.5申请日： 2018-11-07
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公开(公告)号： CN111656485A公开(公告)日： 2020-09-11
- 发明人: 罗曼·M·莫斯托沃伊 , 苏克图·阿伦·帕里克 , 托德·伊根
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权： 15/879,677 2018.01.25 US
- 国际申请： PCT/US2018/059651 2018.11.07
- 国际公布： WO2019/147321 EN 2019.08.01
- 进入国家日期： 2020-07-24
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/67 ; H01L51/00 ; H01L51/56
摘要：
本文描述的实施方式涉及清洁装置和用于清洁物体的方法。在一个实施方式中，通过沿着物体的表面移动清洁头来清洁物体。超临界二氧化碳流体通过超临界二氧化碳流体容器被输送到物体表面。通过真空泵将超临界二氧化碳流体和污染物质从物体去除至检测器。通过检测器确定污染物质的一个或多个测量结果。通过收集器收集污染物质的样本。通过分析器确定物体表面的污染程度。
公开/授权文献
- CN111656485B 装备清洁设备和方法 公开/授权日：2023-09-05
IPC分类:
