公开(公告)号：CN111656485A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN201880087669.5

申请日：2018-11-07

申请人： 应用材料公司

发明人： 罗曼·M·莫斯托沃伊 ,  苏克图·阿伦·帕里克 ,  托德·伊根

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L51/00 ,  H01L51/56

摘要： 本文描述的实施方式涉及清洁装置和用于清洁物体的方法。在一个实施方式中，通过沿着物体的表面移动清洁头来清洁物体。超临界二氧化碳流体通过超临界二氧化碳流体容器被输送到物体表面。通过真空泵将超临界二氧化碳流体和污染物质从物体去除至检测器。通过检测器确定污染物质的一个或多个测量结果。通过收集器收集污染物质的样本。通过分析器确定物体表面的污染程度。

公开(公告)号：CN111656485B

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN201880087669.5

申请日：2018-11-07

申请人： 应用材料公司

发明人： 罗曼·M·莫斯托沃伊 ,  苏克图·阿伦·帕里克 ,  托德·伊根

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H10K50/10 ,  H10K71/00

摘要： 本文描述的实施方式涉及清洁装置和用于清洁物体的方法。在一个实施方式中，通过沿着物体的表面移动清洁头来清洁物体。超临界二氧化碳流体通过超临界二氧化碳流体容器被输送到物体表面。通过真空泵将超临界二氧化碳流体和污染物质从物体去除至检测器。通过检测器确定污染物质的一个或多个测量结果。通过收集器收集污染物质的样本。通过分析器确定物体表面的污染程度。