正型抗蚀剂组成物及图案形成方法
摘要:
本发明涉及正型光阻抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供PED稳定性优异、DOF特性优异、LWR良好、可形成拖尾受到抑制的形状的图案的正型抗蚀剂组成物、及使用该正型抗蚀剂组成物的图案形成方法。一种正型抗蚀剂组成物,含有:(A)下式(1)表示的第1鎓盐化合物;(B)下式(2)表示的第2鎓盐化合物;(C)基础聚合物,该基础聚合物含有下式(a)表示的含酸不稳定基团的重复单元、及视需要的下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元,且其碱溶解性会因酸而改善(但是,含有下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元时,酸不稳定基团的碳数为14以上者在全部重复单元中为5摩尔%以下的话,则亦可含有。);及(D)有机溶剂。
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