发明公开
- 专利标题: 正型抗蚀剂组成物及图案形成方法
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申请号: CN202010148552.2申请日: 2020-03-05
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公开(公告)号: CN111665684A公开(公告)日: 2020-09-15
- 发明人: 松井良宪 , 提箸正义 , 金子达志 , 关明宽 , 渡边聪
- 申请人: 信越化学工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人: 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权: 2019-040330 2019.03.06 JP
- 主分类号: G03F7/004
- IPC分类号: G03F7/004 ; G03F7/039 ; G03F7/00
摘要:
本发明涉及正型光阻抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明的课题是提供PED稳定性优异、DOF特性优异、LWR良好、可形成拖尾受到抑制的形状的图案的正型抗蚀剂组成物、及使用该正型抗蚀剂组成物的图案形成方法。一种正型抗蚀剂组成物,含有:(A)下式(1)表示的第1鎓盐化合物;(B)下式(2)表示的第2鎓盐化合物;(C)基础聚合物,该基础聚合物含有下式(a)表示的含酸不稳定基团的重复单元、及视需要的下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元,且其碱溶解性会因酸而改善(但是,含有下式(b)表示的含酸不稳定基团的重复单元时,酸不稳定基团的碳数为14以上者在全部重复单元中为5摩尔%以下的话,则亦可含有。);及(D)有机溶剂。
公开/授权文献
- CN111665684B 正型抗蚀剂组成物及图案形成方法 公开/授权日:2023-08-25
IPC分类: