多端口射频微波芯片的测试系统
摘要:
本发明提供一种多端口射频微波芯片的测试系统,包括:具有载物台、第一台面及第二台面的自动探针台;第一台面位于载物台的上方,中心区域安置直流探针卡;第二台面位于第一台面的上方,探针座安置于第二台面上;自动探针台和探针座由伺服电机驱动,可以分别进行X-Y-Z方向的三维移动;PXI-e多功能测试平台,给直流探针卡提供测试信号实现对待测芯片的直流特性测试及监测;四端口矢量网络分析仪,给射频探针提供测试信号实现对待测芯片的射频特性测试。本发明的多端口射频微波芯片的测试系统结构简单、测试参数覆盖性高、测试效率高、测试精度高、成本低、测试灵活性高。
公开/授权文献
0/0