发明公开
CN112219258A 旋涂金属化
审中-实审
- 专利标题： 旋涂金属化
-
申请号： CN201980035026.0申请日： 2019-04-04
-
公开(公告)号： CN112219258A公开(公告)日： 2021-01-12
- 发明人: A·C·库珀 , S·V·伊瓦诺维 , 李宏波 , R·M·皮尔斯坦 , 雷新建
- 申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
- 申请人地址： 美国亚利桑那州
- 专利权人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
- 当前专利权人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国亚利桑那州
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 吴亦华; 徐志明
- 优先权： 62/653,753 2018.04.06 US
- 国际申请： PCT/US2019/025852 2019.04.04
- 国际公布： WO2019/195590 EN 2019.10.10
- 进入国家日期： 2020-11-24
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/28 ; H01L21/285 ; H01L21/67
摘要：
本发明描述了在包含形貌的表面上导电金属膜的沉积。所述沉积使用包含中性(不带电)金属化合物的金属前体，其中金属原子处于零价状态和通过作为不带电的挥发性物质稳定的配体而稳定化。
IPC分类:
