发明公开
- 专利标题： LPCVD和ALD两用布气装置
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申请号： CN201910774024.5申请日： 2019-08-21
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公开(公告)号： CN112410758A公开(公告)日： 2021-02-26
- 发明人: 王杨阳 , 杨陆晗 , 王红美 , 彭为报 , 孙嵩泉
- 申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 申请人地址： 安徽省蚌埠市汤和路268号
- 专利权人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省蚌埠市汤和路268号
- 代理机构： 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
- 代理商 张建宏
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455
摘要：
LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。
IPC分类:
