低耗材、高性能背接触导电集成背板及其制作方法

    公开(公告)号:CN107968128B

    公开(公告)日:2019-08-20

    申请号:CN201711160250.1

    申请日:2017-11-20

    摘要: 本发明给出了一种低耗材、高性能背接触导电集成背板的制作方法,包括以下步骤:在绝缘的柔性衬底上通过磁控溅射镀铜形成铜膜,铜膜在柔性衬底上构成导电电路图形,铜膜的厚度为1nm~100nm;采用化学镀铜方法在上述铜膜上生成铜镀层,控制不同位置铜镀层厚度;将上述的导电背板清洗干燥,得到变密度网状结构低耗材、高性能背接触导电集成背板。通过生成铜镀层,达到电路局部宽度和厚度可控制,可优化通过电流的导电电路横截面,电路优化后耗材减少,封装组件不会引起局部过热;原汇流位置温度比电池片串联位置高10℃左右,此优化的导电背板可解决,可制作图形更为复杂,分辨率要求更高的电路,特别适合IBC等背电极较多且复杂的背接触类型电池封装。

    背接触式异质结太阳能电池

    公开(公告)号:CN105609581A

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201610111551.4

    申请日:2016-02-29

    IPC分类号: H01L31/074 H01L31/0224

    摘要: 背接触式异质结太阳能电池,包括由上到下依次叠层的ITO导电膜、掺杂非晶硅薄膜、P型非晶硅薄膜、N型硅片基板、N型非晶硅层薄膜、掺杂非晶硅薄膜和ITO导电膜,上层的ITO导电膜上表面印刷有正导电栅线,下层的ITO导电膜下表面印刷有背导电栅线,背导电栅线上印刷有封装点,所述的太阳能电池的两侧涂有绝缘涂层,绝缘涂层外有导电胶层,导电胶层与正导电栅线相接触,导电胶层与背导电栅线之间有绝缘槽隔离。本电池在电池周围涂导电胶层,将电池正面电极引到背面,制作工艺简单,而且不会因打孔造成短路,而且由于正面电极只在两侧通过导电胶层引出,在封装时,背面电极与正面电极接触的几率很低,即封装时不易短路。

    磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法及专用供电装置

    公开(公告)号:CN101645472B

    公开(公告)日:2011-06-15

    申请号:CN200910144599.5

    申请日:2009-08-18

    IPC分类号: H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 磁控溅射生产线中移动式回架车的供电方法,为:在借助两个导轨支撑回架车的台座上开有托槽,托槽位于两个导轨之间处且其与导轨的走向相一致;将贯穿有电缆的拖链置于托槽内;使拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接;使电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法中用的专用供电装置的结构为:它包括借助两个导轨支撑回架车的台座,台座上在两个导轨之间处开有与导轨走向相一致的托槽,贯穿有电缆的拖链置于托槽内,拖链一端与回架车连接、另一端与台座固接,电缆一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。该方法供电安全。该专用供电装置维护方便、成本低。

    低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置

    公开(公告)号:CN110004433B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN201910390310.1

    申请日:2019-05-10

    IPC分类号: C23C16/455

    摘要: 本发明给出了一种低压化学气相沉积真空管式炉的补气装置,包括补气管,补气管端部开有补气口;还包括冷却管和堵头,冷却管设有供冷却介质通过的内孔,冷却管在补气管的出气口处节距盘绕呈多线圈状的导流弹簧段,处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间具有间隙,堵头设置在冷却管的导流段远离补气管一侧端部处。冷却管通入冷却气体,进而导流弹簧段的冷却管对补气管进行冷却,将补气管温度下降,镀膜反应气体的温度控制在反应温度以下,反应物不会沉积在补气管的管壁及补气口处;处于导流弹簧段的相邻冷却管线圈之间设有间隙,镀膜反应气体通过该间隙,达到出气缝的效果,提高镀膜工件的膜层均匀度。

    真空室门板推进装置的传动组件

    公开(公告)号:CN108843171B

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN201810951454.5

    申请日:2018-08-21

    IPC分类号: E05F15/00

    摘要: 真空室门板推进装置的传动组件,包括门板、驱动装置,驱动装置上设有安装板,还包括第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母;第一螺母、球面轴承左右布置,第一圆柱从右至左穿过球面轴承内圈与第一螺母旋接,球面轴承套接于第二圆柱的周向外侧,球面轴承内圈左侧与第一螺母右侧相抵靠,球面轴承内圈右侧与第三圆柱左侧相抵靠,球面轴承外圈设于第一凹进内,第一圆柱左侧与第一圆筒左侧之间留有一定距离;第一圆筒左侧与门板连接,第二圆筒右侧与安装板连接,第三圆柱右部设于第二圆筒内腔中,第三圆柱右侧与第二圆筒内腔的右侧之间留有距离。其能够在推进门板闭合时自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合。

    立式PVD双面沉积硅片装载装置
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115896727A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211736060.0

    申请日:2022-12-31

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/35 C23C14/56

    摘要: 本发明给出了一种立式PVD双面沉积硅片装载装置;包括基片架和载板组件;载板组件包括托盘和掩膜板,托盘设有若干第一覆膜区域,处于第一覆膜区域内的托盘反面侧壁开有装配槽,处于第一覆膜区域内的托盘还开有第一镀膜通孔,第一镀膜通孔延伸至与装配槽相通,掩膜板设有若干第二覆膜区域,掩膜板也开有第二镀膜通孔,托盘与掩膜板之间可拆卸连接;基片架上设有工位,处于工位内的基片架开有通槽,基片架还设有罩板组件,罩板组件的两个罩板分别基片架正、反面两侧,罩板下端与基片架之间铰接,罩板上端与基片架之间的可拆卸连接,罩板上开有遮罩孔。利用本装载装置可以实现靶材同时向多片基片进行镀膜作业,同一区域内可以通过两片基片镀膜。

    立式PVD倾斜沉积硅片装载装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116240513A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202211737001.5

    申请日:2022-12-31

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/22 C23C14/04

    摘要: 本发明给出了一种立式PVD倾斜沉积硅片装载装置;包括基片架和至少一组掩膜托盘;每组掩膜托盘包括两个掩膜托盘,每个掩膜托盘设有若干覆膜区域,处于覆膜区域内的掩膜托盘反面侧壁开有契合基片轮廓的装配槽,处于覆膜区域内的掩膜托盘还开有与基片的镀膜区域吻合的镀膜通孔,装配槽下侧侧壁延伸有限位凸台;基片架上设有工位,处于工位内的基片架两侧分别固定连接有斜撑板,两个斜撑板的正面分别朝向基片架外侧,斜撑板的反面侧壁设有形成有容纳掩膜托盘的卡槽,斜撑板上开有遮罩孔,遮罩孔完全覆盖掩膜托盘的所有镀膜通孔。利用本立式PVD倾斜沉积硅片装载装置可以实现靶材同时向多片基片进行镀膜作业,并且同一区域内可以通过两片基片镀膜。

    柔性薄膜太阳能电池
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103219397A

    公开(公告)日:2013-07-24

    申请号:CN201310104408.9

    申请日:2013-03-28

    IPC分类号: H01L31/02 H01L31/075

    CPC分类号: Y02E10/50

    摘要: 本发明公开了一种柔性薄膜太阳能电池,包括不锈钢衬底、镀在不锈钢衬底上的P-I-N功能层、镀在P-I-N功能层上的透明导电膜和镀在不锈钢衬底一端的汇流带,若干条碳线平行热压于透明导电膜上,碳线一端连接汇流带,碳线上覆盖透明保护膜。本发明结构简单,在导电膜上热压数条碳线,电流经碳线汇集到汇流带上,极大的降低了电阻,增大了电流。

    薄膜太阳能电池背电极的制备方法

    公开(公告)号:CN101527337A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200910116084.4

    申请日:2009-01-14

    IPC分类号: H01L31/20 H01L31/18

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 薄膜太阳能电池背电极的制备方法,为:在导电衬底玻璃的透明导电膜上沉积非晶硅膜或微晶硅膜;将两片导电衬底玻璃以玻璃面相对、非晶硅膜或微晶硅膜朝外的方式放置在立式玻璃基片装载架的宽度方向两侧;利用真空泵组将磁控溅射系统真空至10-5托以下,通入反应气体,打开直流或射频电源,开始启辉;通过常规的自动传动装置,带动玻璃基片装载架在磁控溅射系统内依次连续直线移动,且该系统的镀膜室中至少装有两对铝溅射靶或两对氧化锌溅射靶,处理结束后,两片导电衬底玻璃的非晶硅膜或微晶硅膜上均沉积有铝膜或氧化锌膜。本方法的镀膜效率较高,生产成本较低,更加利于实现大规模工业化生产。