本公开提供了一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法，包括：反应腔体，与反应腔体连接的尾气处理管道；尾气处理管道内依次设有过渡区、一级沉积区和二级沉积区，尾气处理管道的出口管道与真空泵的一端连接，真空泵另一端与尾气处理装置连接；解决了在氢化物气相外延设备中引入水和其他杂质，从而影响GaN衬底材料的质量问题，结构设计简单，清理效果好，设备运行成本低，能够及时清除残留沉积物，保证管道不被堵塞，最大限度地去除管道内的NH4C粉尘和废气，使系统高效循环运行，提高设备的利用率，延长设备的维护周期。