公开(公告)号：CN111123928A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201911328086.X

申请日：2019-12-20

申请人： 山东大学

发明人： 贾磊 ,  黄金 ,  张兴拓 ,  王超 ,  王胜放 ,  马思乐 ,  马晓静 ,  陈纪旸 ,  栾义忠 ,  姜向远

IPC分类号： G05D1/02 ,  B62D55/065

摘要： 本公开提供了一种可穿越低矮双层双向钢筋网结构的智能小车，包括车体，所述车体两侧设置有行走机构，车体上设置有凹槽，凹槽内设置有摄像云台，所述摄像云台上设置有至少两个相机；车体前端设置有避障模块，车体内设置有控制模块，所述控制模块获取相机和避障模块的采集参数，根据相机采集图像，获取车体前方钢筋的直径，进而对钢筋层进行三维建模，根据避障模块的数据，对行走机构进行控制。本公开可穿越低矮双层双向钢筋网结构的小车可对钢筋直径进行测量并且可以对整个双层双向钢筋网进行三维建模，克服了现有人工测量钢筋直径劳动强度大和无人机测量代价高的缺陷。

公开(公告)号：CN112782970A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202011567985.8

申请日：2020-12-25

申请人： 山东大学

发明人： 马思乐 ,  余平 ,  孙文旭 ,  张兴拓 ,  黄金 ,  马晓静 ,  陈纪旸 ,  栾义忠 ,  姜向远

IPC分类号： G05B11/42 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

摘要： 本发明提供一种GaN衬底生长加热炉温度自整定方法及系统，构建神经网络，设置神经网络的转移函数、性能指标、学习率、α因子以及权值初始矩阵；加热炉实际运行时，根据加热炉系统返回现场实际温度，确定神经网络的输入层节点；当加热炉温度超出偏差允许范围时，利用神经网络调整PID控制器的控制参数，实现对加热炉温度的自适应整定。本发明实现了加热炉温度的自适应整定；采用在线调整方式，利用BP神经网络实现了对加热炉温度的实时控制；采用神经网络改进PID控制器的控制效果，提高了系统温度控制的精确性和抗干扰性。

公开(公告)号：CN112593286A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN202011347798.9

申请日：2020-11-26

申请人： 山东大学

发明人： 马思乐 ,  孙文旭 ,  余平 ,  张兴拓 ,  马晓静 ,  陈纪旸 ,  栾义忠 ,  姜向远

IPC分类号： C30B25/16 ,  C30B29/40

摘要： 本公开提供了一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法，包括：反应室，与反应室连接的流量控制通路和微调气路；所述流量控制通路上依次设有真空泵和调节阀；所述微调气路上设有质量流量控制器，微调气路用于通入惰性气体，在质量流量控制器的调节下实现对反应室压力的精确控制；结构设计合理，采用与反应室连接的流量控制通路和微调气路，并配合使用PLC控制器，实现了GaN材料生长过程中反应室内压力的精准调控。

公开(公告)号：CN112588060A

公开(公告)日：2021-04-02

申请号：CN202011347780.9

申请日：2020-11-26

申请人： 山东大学

发明人： 马思乐 ,  孙文旭 ,  余平 ,  张兴拓 ,  马晓静 ,  陈纪旸 ,  栾义忠 ,  姜向远

IPC分类号： B01D50/00 ,  C23C16/44 ,  C23C16/30 ,  C23C16/52

摘要： 本公开提供了一种新型氢化物气相外延尾气处理装置及方法，包括：反应腔体，与反应腔体连接的尾气处理管道；尾气处理管道内依次设有过渡区、一级沉积区和二级沉积区，尾气处理管道的出口管道与真空泵的一端连接，真空泵另一端与尾气处理装置连接；解决了在氢化物气相外延设备中引入水和其他杂质，从而影响GaN衬底材料的质量问题，结构设计简单，清理效果好，设备运行成本低，能够及时清除残留沉积物，保证管道不被堵塞，最大限度地去除管道内的NH4C粉尘和废气，使系统高效循环运行，提高设备的利用率，延长设备的维护周期。

公开(公告)号：CN113046828A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110251610.9

申请日：2021-03-08

申请人： 山东大学

发明人： 马思乐 ,  张兴拓 ,  孙文旭 ,  余平 ,  修向前 ,  黄金 ,  于敦政 ,  马晓静

IPC分类号： C30B25/12 ,  C30B25/16 ,  C30B29/40

摘要： 本公开公开的一种用于生长多种尺寸衬底可灵活测温的运动装置及方法，包括：设置多种尺寸衬底放置区的衬底托盘和与衬底托盘连接的连接件，连接件与旋转驱动单元连接，经旋转驱动单元带动旋转，旋转驱动单元固定于承片台上，承片台与升降驱动单元连接，由升降驱动单元带动升降，升降驱动单元和旋转驱动单元分别与控制器连接。实现了对衬底旋转升降运动的精确控制。

公开(公告)号：CN112680789A

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN201911279953.5

申请日：2019-12-13

申请人： 山东大学

发明人： 孙文旭 ,  马思乐 ,  修向前 ,  王超 ,  贾磊 ,  李岐强 ,  张兴拓 ,  栾义忠 ,  陈纪旸 ,  马晓静 ,  余平

IPC分类号： C30B25/16 ,  C30B25/10 ,  C30B29/40

摘要： 本公开公开了一种基于模糊控制的HVPE温度控制系统及方法，包括：加热子系统包括至少两组温区，温区内设置加热模块和温度传感器，温度传感器将采集的温区的温度信号经A/D转换后传输到PLC子系统；PLC子系统通过比较温区在加热期间的实际温度值与预设温度值，结合基于模糊自适应控制算法计算温度控制量，输出温度控制信号通过D/A转换发送到控制子系统；控制子系统的自动控温电路与加热模块连接，调节加热模块的加热功率，结合加热模块的种类和加热方式，控制温区的温度在预设温度范围内。提出基于PLC、温控电路以及模糊自适应整定PID控制的HVPE设备加热炉温度控制系统，采用模糊控制与PID控制相结合的模糊自适应整定PID控制方法，提高控制精度。