发明授权
- 专利标题： 一种多晶变温沉积扩散的方法及其应用
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申请号： CN202011450544.X申请日： 2020-12-09
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公开(公告)号： CN112652678B公开(公告)日： 2022-10-14
- 发明人: 聂文君 , 王菲 , 张伟 , 王路路 , 贾慧君 , 李文敏
- 申请人： 晋能清洁能源科技股份公司 , 晋能光伏技术有限责任公司
- 申请人地址： 山西省吕梁市文水县经济开发区1号;
- 专利权人： 晋能清洁能源科技股份公司,晋能光伏技术有限责任公司
- 当前专利权人： 晋能清洁能源科技股份公司,晋能光伏技术有限责任公司
- 当前专利权人地址： 山西省吕梁市文水县经济开发区1号;
- 代理机构： 北京慕达星云知识产权代理事务所
- 代理商 赵徐平
- 主分类号： H01L31/18
- IPC分类号： H01L31/18 ; H01L21/22
摘要：
本发明公开了一种多晶变温沉积扩散的方法，在过量氧气的条件下，以液态三氯氧磷作为扩散磷源，采用背靠背扩散方式进行变温沉积扩散。本发明的多晶变温沉积扩散的方法，通过在工艺过程通入过量氧气，减少对硅有腐蚀作用的五氯化磷的产生，利用改善后扩散的变温沉积工艺，在保证不损失转换效率，不增加能耗前提下，沉积过程做完后，可直接做推进步，缩短升温时间，从而提高产能，降低度电成本。
公开/授权文献
- CN112652678A 一种多晶变温沉积扩散的方法及其应用 公开/授权日：2021-04-13
IPC分类:
