发明公开
- 专利标题: 工件双面抛光装置及双面抛光方法
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申请号: CN201980049132.4申请日: 2019-06-05
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公开(公告)号: CN112672848A公开(公告)日: 2021-04-16
- 发明人: 久保田真美 , 高梨启一
- 申请人: 胜高股份有限公司
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人: 胜高股份有限公司
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 张泽洲; 司昆明
- 优先权: 2018-138707 20180724 JP
- 国际申请: PCT/JP2019/022350 2019.06.05
- 国际公布: WO2020/021871 JA 2020.01.30
- 进入国家日期: 2021-01-22
- 主分类号: B24B37/013
- IPC分类号: B24B37/013 ; B24B37/08 ; B24B49/04 ; B24B49/12 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供一种能够在双面抛光中,在工件的形状成为目标形状的时机结束双面抛光的工件双面抛光装置及双面抛光方法。演算部(13),进行如下工序:第1工序,按每一个工件对由工件厚度测量器(11)测量的工件厚度数据进行分类;第2工序,按每一个工件,从厚度数据中提取工件的形状成分;第3工序,针对提取出的各形状成分,确定测量出的工件上的工件径向位置;第4工序,根据所确定的工件径向位置及工件的形状成分,计算工件的形状分布;第5工序,根据计算出的形状分布,求出工件形状指标;以及第6工序,将所求出的每一个工件形状指标成为根据前一批次中的工件形状指标的目标值与实绩值之差决定的工件形状指标的设定值的时机,决定为结束工件双面抛光的时机,并在所决定的时机结束双面抛光。
公开/授权文献
- CN112672848B 工件双面抛光装置及双面抛光方法 公开/授权日:2023-08-29