发明公开
- 专利标题： 静电去除基材表面异物的装置和方法
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申请号： CN201980064790.0申请日： 2019-09-17
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公开(公告)号： CN112789718A公开(公告)日： 2021-05-11
- 发明人: 安东尼奥·罗通达龙 , 德里克·巴塞特 , 特拉斯·赫德 , 伊赫桑·西姆斯
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 陈炜; 李德山
- 优先权： 62/739,482 20181001 US
- 国际申请： PCT/US2019/051548 2019.09.17
- 国际公布： WO2020/072195 EN 2020.04.09
- 进入国家日期： 2021-03-31
- 主分类号： H01L21/683
- IPC分类号： H01L21/683 ; H01L21/67 ; H02N13/00 ; B23Q3/15 ; H01L21/02
摘要：
在一个示例性实施例中，本文描述了一种用于减小微粒与衬底表面之间的吸引力以辅助去除衬底表面上的微粒的新颖技术。更具体而言，利用一种多电极吸盘来辅助清洁衬底。利用该多电极吸盘减小微粒与该衬底之间的吸引力并移动该衬底表面上存在的松动微粒。使用在电极偏压波之间具有相移的交流(AC)电压对该吸盘的电极进行偏压。该衬底表面上所产生的电场波通过使微粒极化来将微粒松动，并使松动的微粒跨衬底移动。
IPC分类:
