发明公开
CN112875294A 自动退镀系统
审中-实审
- 专利标题: 自动退镀系统
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申请号: CN202110014484.5申请日: 2021-01-06
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公开(公告)号: CN112875294A公开(公告)日: 2021-06-01
- 发明人: 曹文权 , 庞宏林 , 孙杰 , 吴六一 , 李立兵 , 杨松林
- 申请人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号
- 专利权人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
- 当前专利权人: 甬矽电子(宁波)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市余姚市中意宁波生态园兴舜路22号
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 严诚
- 主分类号: B65G49/02
- IPC分类号: B65G49/02 ; B65G47/91 ; B65G47/90 ; B65G47/04 ; H01L21/67
摘要:
本申请提供了一种自动退镀系统,涉及芯片技术领域。自动退镀系统包括上料装置、输送装置、酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置;上料装置用于将产品输送至输送装置,输送装置被设置为沿输送方向输送产品,使得产品依次经过酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置。通过本申请提供的自动退镀系统,可以自动实现上料,然后通过输送带将产品依次输送到各个装置中进行相应的处理,包括酸洗、第一次水洗、退镀、第二次水洗以及干燥。整个过程中,产品依靠输送装置的输送带输送,避免人工过多接触,安全性高。同时,整个退镀工艺自动化实现,作业效率高。
IPC分类: