公开(公告)号：CN112875294A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202110014484.5

申请日：2021-01-06

申请人： 甬矽电子(宁波)股份有限公司

发明人： 曹文权 ,  庞宏林 ,  孙杰 ,  吴六一 ,  李立兵 ,  杨松林

IPC分类号： B65G49/02 ,  B65G47/91 ,  B65G47/90 ,  B65G47/04 ,  H01L21/67

摘要： 本申请提供了一种自动退镀系统，涉及芯片技术领域。自动退镀系统包括上料装置、输送装置、酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置；上料装置用于将产品输送至输送装置，输送装置被设置为沿输送方向输送产品，使得产品依次经过酸洗装置、第一水洗装置、退镀装置、第二水洗装置以及干燥装置。通过本申请提供的自动退镀系统，可以自动实现上料，然后通过输送带将产品依次输送到各个装置中进行相应的处理，包括酸洗、第一次水洗、退镀、第二次水洗以及干燥。整个过程中，产品依靠输送装置的输送带输送，避免人工过多接触，安全性高。同时，整个退镀工艺自动化实现，作业效率高。

公开(公告)号：CN210420231U

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201921457091.6

申请日：2019-09-03

申请人： 甬矽电子(宁波)股份有限公司

发明人： 曹文权 ,  孙杰 ,  李鹏 ,  吴六一

IPC分类号： C25D17/00

摘要： 本申请公开了一种导电装置及电镀设备，通过设置可靠近或者远离传输结构的接触结构，从而使待处理元件带电。该装置应用于电镀设备的溶液槽，溶液槽中设置有可沿溶液槽延伸方向移动的传输结构；所述装置包括第一接触结构和第二接触结构，第一接触结构的固定端连接在溶液槽的一个侧壁上，第二接触结构的固定端连接在溶液槽的另一个侧壁上；所述装置还包括固定结构和用于连接电源的接线端，接线端设置在第一接触结构、第二接触结构或者固定结构上，所述电源通过所述接线端、所述接触结构形成至待处理元件的电通路。由于第一接触结构和第二接触结构能够向远离或者靠近传输结构的方向运动，且可以通过固定结构连接，因此，无需设置过多的螺丝。

公开(公告)号：CN208667888U

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201821251776.0

申请日：2018-08-03

申请人： 甬矽电子(宁波)股份有限公司

发明人： 曹文权 ,  沈建春 ,  吴六一 ,  李鹏

IPC分类号： C25D17/12

摘要： 本实用新型实施例提供一种电镀阳极装置，所述电镀阳极装置包括阳极钛篮、固定柱、槽壁、母扣以及与该母扣配合的子钮；所述阳极钛篮设置于所述固定柱的一侧，所述母扣设置于所述固定柱的另一侧，所述子钮设置于所述槽壁靠近所述固定柱的一侧，所述子钮与所述母扣配合以将所述阳极钛篮固定在所述槽壁上。本实用新型能够有效提高阳极钛篮与槽壁之间的装配效率，降低电镀维护成本。