一种高纯低氧硅粉及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种高纯低氧球形金属硅粉及其制备方法,所述制备方法以高纯硅块为原料,采用感应导热材料石墨作为外部导热层、不与硅反应材料(如氧化铝、氧化锆、氮化硼等)作为内部隔离层设计特种结构坩埚,采用真空气雾化法制备高纯低氧球形金属硅粉。本发明所制备的硅粉的粉末粒度为10‑50μm,纯度≥99.999%,氧含量≤400ppm,球形度90%以上,满足了特种高纯金属合金的使用要求。
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