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公开(公告)号：CN113981386B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202111160175.5
申请日：2021-09-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合，Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高，能够提高粉末烧结温度至1000‑1300℃，提高了AlSc靶材的致密度；并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉，能够使得第二相更加均匀弥散的分布。
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公开(公告)号：CN113278932A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202011617741.6
申请日：2020-12-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种扩散焊接型AlSc合金靶材的一次成型制备方法。本发明公开的扩散焊接型AlSc合金靶材的制备方法，采用熔炼工艺成型，将配比好的合金熔液直接浇注在焊接面有燕尾槽并加镀层的背板上，另外一面通冷却水冷却，通过背板燕尾槽的结构设计，实现靶材近尺寸成型及与背板扩散焊接一体成型，最终AlSc合金靶材的焊合率≥99％，焊接强度≥10MPa。通过浇注一次成型扩散焊接靶材，减少繁琐的靶面成型及热等静压扩散焊接，大大降低成本，并利用背板焊接面加镀层，防止焊接面生成脆性相，得到焊接强度满足使用要求的产品。
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公开(公告)号：CN112708864A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011535127.5
申请日：2020-12-23
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种铝钪合金靶材的制造方法。所述铝钪合金靶材制造方法为：以铝块、粒度为5～50微米的1～4种铝钪中间化合物球形粉为原料，置于氧化铝或氧化锆熔炼坩埚内，经过700～900℃的中频感应熔炼及电磁搅拌，使得铝块完全熔化，而铝钪中间化合物粉体不熔化，最终形成铝钪中间化合物粉体均匀分散其间的高温铝浆料；然后将高温铝浆料快速浇铸到模具内，冷却凝固一次成型得到近成品尺寸靶坯；然后对该靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。
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公开(公告)号：CN112894111B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202110062328.6
申请日：2021-01-18
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明提供了一种高钪含量铝钪合金靶材扩散焊接的方法及制备的焊接组件。所述方法是指在高钪含量(Sc含量≧20at％)铝钪合金靶材表面喷涂Al合金或Cu合金背板，然后在300～400℃的温度下进行热处理，促进AlSc合金靶坯与背板间的扩散，最终获得焊接强度大于70MPa，焊合率大于98％，无裂纹的高Sc含量AlSc合金靶材扩散焊接组件。
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公开(公告)号：CN114850795A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210513870.3
申请日：2022-05-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： B23P15/00 , B23P23/04 , B23K20/02 , B23K20/24 , B23K20/26 , B23K37/00 , C23C14/34 , C23C14/35 , B08B3/12 , B21J5/00 , B21J5/08
摘要： 一种铝钪合金靶材成型焊接一体化制备的方法，是指将Sc含量≤20at％的AlSc合金铸锭与背板装入Al合金包套内进行压延，形成大尺寸AlSc合金靶坯及背板焊接组件后在300～600℃的温度下进行热处理，形成再结晶退火态组织并促进AlSc合金靶坯与背板间的扩散，最终获得平均晶粒尺寸小于100μm，焊接强度大于70MPa，焊合率大于99％，无裂纹的AlSc合金靶材扩散焊接组件；本发明方法，可实现工艺流程短、产品不开裂且焊合率高的技术效果。
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公开(公告)号：CN112708864B
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202011535127.5
申请日：2020-12-23
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种铝钪合金靶材的制造方法。所述铝钪合金靶材制造方法为：以铝块、粒度为5～50微米的1～4种铝钪中间化合物球形粉为原料，置于氧化铝或氧化锆熔炼坩埚内，经过700～900℃的中频感应熔炼及电磁搅拌，使得铝块完全熔化，而铝钪中间化合物粉体不熔化，最终形成铝钪中间化合物粉体均匀分散其间的高温铝浆料；然后将高温铝浆料快速浇铸到模具内，冷却凝固一次成型得到近成品尺寸靶坯；然后对该靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。
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公开(公告)号：CN115029674B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202210514946.4
申请日：2022-05-12
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 一种低偏析铝钪合金靶材是采用Al包覆Sc的核壳结构，其Sc含量为20～50at％，成分波动在±0.2％之内，氧含量小于200ppm，相对密度不小于99.5％的AlSc合金靶材；其制备方法，包括：加入粘结剂的Sc粉与Al粉混粉，热处理烧结粉末，获得核壳结构AlSc合金粉末，热压烧结及获得低偏析铝钪合金靶材；本发明形成的合金粉后，不存在后期传输过程由于两种粉末性质不同造成的二次偏析现象，经过后期热压烧结后可获得低偏析的AlSc合金靶材。
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公开(公告)号：CN113981386A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111160175.5
申请日：2021-09-30
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明提出一种高钪含量铝钪合金靶材的制造方法，通过采用Sc粉与第二相化合物Al3Sc粉进行配料混合，Sc的熔点(1541℃)Al3Sc的熔点(1320℃)均较高，能够提高粉末烧结温度至1000‑1300℃，提高了AlSc靶材的致密度；并且由于直接加入了第二相化合物Al3Sc粉，能够使得第二相更加均匀弥散的分布。
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公开(公告)号：CN112875707A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110128735.2
申请日：2021-01-29
申请人： 有研亿金新材料有限公司
IPC分类号： C01B33/021
摘要： 本发明公开了一种高纯低氧球形金属硅粉及其制备方法,所述制备方法以高纯硅块为原料，采用感应导热材料石墨作为外部导热层、不与硅反应材料(如氧化铝、氧化锆、氮化硼等)作为内部隔离层设计特种结构坩埚，采用真空气雾化法制备高纯低氧球形金属硅粉。本发明所制备的硅粉的粉末粒度为10‑50μm，纯度≥99.999％，氧含量≤400ppm，球形度90％以上，满足了特种高纯金属合金的使用要求。
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公开(公告)号：CN113088899B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202110295606.2
申请日：2021-03-19
申请人： 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种高纯低氧钨硅合金靶材及其制备方法，所述制备方法以高纯度的钨粉和高纯度的硅粉为原料，通过在填充惰性气体的手套箱内进行粉末配料、混粉罐装粉、混合后粉末装包套的方式进行，保证粉末全过程不暴露于大气环境，获得高纯低氧混合粉末，然后采用热等静压烧结成型，制备了微观组织均匀、相对密度≥99％、纯度≥5N、氧含量≤400ppm的钨硅靶材。本发明的方法不仅可以制备钨硅合金靶材，还可以制备其他如钽硅靶、铝钪靶等易氧化材料的靶材。
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