- 专利标题: 一种碳纳米管-石墨烯共价异质结隧穿场效应晶体管
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申请号: CN202110068578.0申请日: 2021-01-19
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公开(公告)号: CN112909092A公开(公告)日: 2021-06-04
- 发明人: 周文利 , 朱宇 , 程丽 , 龚清峰 , 庄严
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李智
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L29/16 ; H01L29/165 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了一种碳纳米管‑石墨烯共价异质结隧穿场效应晶体管,属于隧穿场效应晶体管技术领域,包括:栅区,源区,漏区,沟道区;所述沟道区包括沿源区至漏区方向依次排布的沟道一段、沟道二段和沟道三段;所述沟道一段和沟道三段均为弯曲的zigzag型石墨烯纳米带,所述沟道二段为碳纳米管;所述源区与漏区均为armchair型石墨烯纳米带;所述源区、漏区以及沟道区组成石墨烯‑碳纳米管共价异质结。如此,在隧穿晶体管处于开态时,armchair型石墨烯(源区)中电子能够通过无带隙的zigzag型石墨烯直接输运到碳纳米管(沟道);此时,碳纳米管沟道与armchair型石墨烯之间不存在隧穿势垒,电子从源区输运到沟道的几率大大增加,隧穿晶体管器件的开态饱和电流增加一个量级。
公开/授权文献
- CN112909092B 一种碳纳米管-石墨烯共价异质结隧穿场效应晶体管 公开/授权日:2022-08-02
IPC分类: