一种玻璃基板翘曲判断和调整方法
摘要:
本发明提供一种玻璃基板翘曲判断和调整方法,首先分别得到玻璃带离开成型区的温度分布曲线TF(y)、温度差ΔTF和分布曲线TF(y)的平均温度为和玻璃带离开退火区的温度分布曲线TA(y)、温度差ΔTA和分布曲线TF(y)的平均温度为通过对TF(y)和TA(y)在玻璃带宽度方向上相对中心为对称分布以及TA(y)在玻璃带宽度方向上相对中心线为不对称分布两种情况分别判断应力分布情况和判断可能的翘曲,通过判断进行控制调整,同时进行应力解析计算,判断是否超出玻璃基板的许用应力,采取对策控制调整方法,克服了传统在线应力测量和翘曲测量对工艺对策的指导不足,实现了数值化、精细化翘曲控制。
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