一种自补偿的气敏集成场效应管结构
摘要:
本发明公开了气敏集成场效应管结构,属于气体传感器技术领域,具体涉及一种自补偿的气敏集成场效应管结构,该结构包括主敏感单元场效应管与补偿单元场效应管,采用双同型场效应管共极结构,利用主敏感单元与补偿单元场效应管敏感栅的吸附敏感功能,调制双场效应管分压,实现气敏场效应管结构对主测试气体的选择性自补偿信号输出。本发明所述的自补偿气敏集成场效应管结构可消除特定干扰气体对气敏场效应管敏感特性的影响,提升气敏场效应管的气敏选择性,提高气敏场效应管输出信号可靠性,在环境监测、食品安全及军事等领域均具有广泛的应用前景。
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