一种终端结构、其制作方法及电子器件
Abstract:
本申请涉及电力电子器件技术领域,特别涉及一种终端结构、其制作方法及电子器件,其中,终端结构包括衬底,衬底具有主结原胞区和终端区,终端区包括靠近主结原胞区的过渡区和位于过渡区远离主结原胞区一侧的截止环;其中,衬底在位于过渡区与截止环之间的部位具有至少一个沟槽,终端区内形成有电容场板,电容场板覆盖各沟槽的侧面。本申请公开的终端结构,能够降低终端结构的面积占比,从而降低芯片的制造成本。
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