- 专利标题: 一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法
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申请号: CN202110254480.4申请日: 2021-03-09
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公开(公告)号: CN113009625B公开(公告)日: 2022-06-10
- 发明人: 赵飞 , 徐亚新 , 王康 , 刘晓兰 , 卢会湘 , 严英占 , 唐小平 , 杨宗亮 , 王杰 , 段龙帆
- 申请人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市中山西路589号第五十四所微系统中心
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市中山西路589号第五十四所微系统中心
- 代理机构: 河北东尚律师事务所
- 代理商 王文庆
- 主分类号: G02B6/12
- IPC分类号: G02B6/12 ; G02B6/13 ; G02B6/136
摘要:
本发明公开了一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法,属于光电通信技术领域。该方法对多层覆铜LCP层进行打孔、填孔、开腔、图形化及多层层压等加工,获得具有电气互连结构、芯片装配腔体、光传输通路的LCP多层结构;并基于光波导光刻技术,在LCP无铜层表面形成45°反射面;然后将LCP多层结构与含45°反射面结构层压后,集成光电器件,通过LCP层盖帽封装,获得集成度高、可靠性高的集成光传输模块。本发明可实现光传输模块的一体化集成,并提供良好的密封保护,适用于光电通信、传输等系统的小型化、高可靠应用。
公开/授权文献
- CN113009625A 一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法 公开/授权日:2021-06-22