一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法
摘要:
本发明公开了一种集成光波导的多层LCP光传输模块的制造方法,属于光电通信技术领域。该方法对多层覆铜LCP层进行打孔、填孔、开腔、图形化及多层层压等加工,获得具有电气互连结构、芯片装配腔体、光传输通路的LCP多层结构;并基于光波导光刻技术,在LCP无铜层表面形成45°反射面;然后将LCP多层结构与含45°反射面结构层压后,集成光电器件,通过LCP层盖帽封装,获得集成度高、可靠性高的集成光传输模块。本发明可实现光传输模块的一体化集成,并提供良好的密封保护,适用于光电通信、传输等系统的小型化、高可靠应用。
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