一种用于电镀钴的镀液及电镀方法
摘要:
本发明涉及一种用于电镀钴的镀液及电镀方法,属于电子元器件制造领域。本发明的一种用于电镀钴的镀液中各组分及浓度如下:Co2+:0.05‑1mol/L,支持电解质:20‑100g/L,辅助配位剂:1‑48.6g/L,缓冲剂:20‑45g/L,稳定剂:0.2‑1g/L,辅助光亮剂:0.001‑0.01g/L,分散剂:0.05‑2g/L,整平剂:0.2‑1.6g/L。在进行大马士革电镀、微孔填充等精密电子互连线路的制造时,采用本发明的一种用于电镀钴的镀液可实现无孔隙钴填充,解决了精密电子互连线路中使用铜互连时无法避免的电迁移、互扩散等问题,本发明将有助于提升导电性、降低功耗并大幅减小芯片体积,使芯片效能更优越。
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