发明授权
- 专利标题： 一种集成零模波导芯片及其制备方法
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申请号： CN202110274336.7申请日： 2021-03-15
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公开(公告)号： CN113109900B公开(公告)日： 2022-06-07
- 发明人: 周连群 , 郭振 , 俞鹏飞 , 付博文 , 张芷齐 , 李传宇 , 李超 , 李金泽 , 张威 , 姚佳
- 申请人： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 申请人地址： 江苏省苏州市虎丘区科灵路88号
- 专利权人： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 当前专利权人： 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市虎丘区科灵路88号
- 代理机构： 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 徐律
- 主分类号： G02B6/12
- IPC分类号： G02B6/12 ; G02B6/125 ; G01N21/64
摘要：
本发明提供一种集成零模波导芯片及其制备方法，集成零模波导芯片包括：衬底层，衬底层包括检测区和与检测区邻接的第一传输区；位于衬底层的检测区和第一传输区上的波导结构；位于检测区的波导结构上的阵列孔膜层，阵列孔膜层中具有若干纳米孔。集成零模波导芯片具有较高的集成度和较低的对准精度要求。
公开/授权文献
- CN113109900A 一种集成零模波导芯片及其制备方法 公开/授权日：2021-07-13
