发明公开
- 专利标题: 半导体装置的形成方法以及半导体装置
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申请号: CN202110260054.1申请日: 2021-03-10
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公开(公告)号: CN113206037A公开(公告)日: 2021-08-03
- 发明人: 张尚文 , 邱奕勋 , 庄正吉 , 蔡庆威 , 林威呈 , 彭士玮 , 曾健庭
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国
- 优先权: 63/031,083 20200528 US 17/126,509 20201218 US
- 主分类号: H01L21/768
- IPC分类号: H01L21/768
摘要:
一种半导体装置的形成方法以及半导体装置。在一实施例中,一种形成一半导体装置的方法包括:在第一基板上方形成第一晶体管及第二晶体管;在第一晶体管及第二晶体管上方形成前侧互连结构;蚀刻第一基板的至少一背侧以暴露第一晶体管及第二晶体管;形成电连接至第一晶体管的第一背侧通孔;形成电连接至第二晶体管的第二背侧通孔;在第一背侧通孔及第二背侧通孔上方沉积介电层;在介电层中形成第一导电接线,第一导电接线为经由第一背侧通孔电连接至第一晶体管的电源轨;及于介电层中形成第二导电接线,第二导电接线为经由第二背侧通孔电连接至第二晶体管的信号接线。
IPC分类: