半导体装置的形成方法以及半导体装置
摘要:
一种半导体装置的形成方法以及半导体装置。在一实施例中,一种形成一半导体装置的方法包括:在第一基板上方形成第一晶体管及第二晶体管;在第一晶体管及第二晶体管上方形成前侧互连结构;蚀刻第一基板的至少一背侧以暴露第一晶体管及第二晶体管;形成电连接至第一晶体管的第一背侧通孔;形成电连接至第二晶体管的第二背侧通孔;在第一背侧通孔及第二背侧通孔上方沉积介电层;在介电层中形成第一导电接线,第一导电接线为经由第一背侧通孔电连接至第一晶体管的电源轨;及于介电层中形成第二导电接线,第二导电接线为经由第二背侧通孔电连接至第二晶体管的信号接线。
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