发明公开
CN113252685A 一种芯片检测机
审中-实审
- 专利标题: 一种芯片检测机
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申请号: CN202110485846.9申请日: 2021-04-30
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公开(公告)号: CN113252685A公开(公告)日: 2021-08-13
- 发明人: 戚翔尔 , 杭圣超 , 孙振兴 , 牛广升 , 李鑫昌
- 申请人: 博众精工科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号
- 专利权人: 博众精工科技股份有限公司
- 当前专利权人: 博众精工科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 胡彬
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88 ; G01N21/95 ; G01B11/02
摘要:
本发明属于芯片检测技术领域,公开了一种芯片检测机,该芯片检测机用于检测芯片待检测面的缺陷,芯片检测机包括相机、第一光源组件及光学投影组件,相机与检测装置的检测区域正对设置,以采集芯片的待检测面的图像,第一光源组件包括四个第一条形光源,四个第一条形光源于相机的光轴的四周两两相对设置,并均能够朝向芯片的待检测面发射光束,相机获取芯片待检测面的二维图像,光学投影组件包括两个以上的投影件,两个以上的投影件绕相机的光轴均匀排列,并能够朝向芯片的待检测面投射结构光,进而获取芯片待检测面的三维数据,本发明通过分析得到半导体芯片的锡球高度,既能够检测芯片的待检测面缺陷,同时还能量测半导体芯片的锡球高度。