发明公开

一种芯片检测机
摘要:
本发明属于芯片检测技术领域,公开了一种芯片检测机,该芯片检测机用于检测芯片待检测面的缺陷,芯片检测机包括相机、第一光源组件及光学投影组件,相机与检测装置的检测区域正对设置,以采集芯片的待检测面的图像,第一光源组件包括四个第一条形光源,四个第一条形光源于相机的光轴的四周两两相对设置,并均能够朝向芯片的待检测面发射光束,相机获取芯片待检测面的二维图像,光学投影组件包括两个以上的投影件,两个以上的投影件绕相机的光轴均匀排列,并能够朝向芯片的待检测面投射结构光,进而获取芯片待检测面的三维数据,本发明通过分析得到半导体芯片的锡球高度,既能够检测芯片的待检测面缺陷,同时还能量测半导体芯片的锡球高度。
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