- 专利标题: 气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置
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申请号: CN202110710500.4申请日: 2021-06-25
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公开(公告)号: CN113433580B公开(公告)日: 2023-03-10
- 发明人: 张志永 , 封常青 , 文思成 , 刘建北 , 邵明 , 周意
- 申请人: 中国科学技术大学
- 申请人地址: 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人: 中国科学技术大学
- 当前专利权人: 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 张天一
- 主分类号: G01T1/28
- IPC分类号: G01T1/28 ; G01T1/167 ; G01T1/24
摘要:
本发明公开了一种气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置,包括制作信号读出板,在下层绝缘层上端面制作金属读出电极,在金属读出电极的上端面覆盖上层绝缘层;压合信号读出板和表面处理,将信号读出板压合在基板上,并使上层绝缘层上远离基板的一侧呈平面;制作阻性阳极电极,在信号读出板的上端面制作阻性层,在阻性层的上端面的外周固定低阻电极环;制作探测器放大组件,将支撑框固定在低阻电极环的上端,并使支撑框完全覆盖低阻电极环,将微网电极固定在支撑框的上端。该气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置能够实现低本底、高分辨的射线粒子探测。
公开/授权文献
- CN113433580A 气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置 公开/授权日:2021-09-24