气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置
摘要:
本发明公开了一种气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置,包括制作信号读出板,在下层绝缘层上端面制作金属读出电极,在金属读出电极的上端面覆盖上层绝缘层;压合信号读出板和表面处理,将信号读出板压合在基板上,并使上层绝缘层上远离基板的一侧呈平面;制作阻性阳极电极,在信号读出板的上端面制作阻性层,在阻性层的上端面的外周固定低阻电极环;制作探测器放大组件,将支撑框固定在低阻电极环的上端,并使支撑框完全覆盖低阻电极环,将微网电极固定在支撑框的上端。该气体探测器制作方法、气体探测器及射线探测装置能够实现低本底、高分辨的射线粒子探测。
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