发明授权
- 专利标题: 可靠性改进的气密性金属化通孔
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申请号: CN202080025773.9申请日: 2020-01-20
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公开(公告)号: CN113646280B公开(公告)日: 2023-07-04
- 发明人: M·卡努勾 , P·马宗达 , C·A·欧克洛 , 朴娥英 , S·C·波拉德 , R·瓦迪
- 申请人: 康宁股份有限公司
- 申请人地址: 美国纽约州
- 专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人: 康宁股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约州
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 张璐; 乐洪咏
- 国际申请: PCT/US2020/014257 2020.01.20
- 国际公布: WO2020/163067 EN 2020.08.13
- 进入国家日期: 2021-09-28
- 主分类号: C03C17/06
- IPC分类号: C03C17/06 ; H01L23/15 ; H01L23/498 ; H01L21/768
摘要:
根据本文所述的各个实施方式,一种制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材,其具有第一主表面以及与第一主表面相对的第二主表面;以及在轴向方向上穿过基材而从第一主表面延伸轴向长度到达第二主表面的通孔。所述制品还包括设置在内表面上的氦气气密性粘附层;以及设置在通孔内的金属连接件,其中,所述金属连接件粘附于氦气气密性粘附层。所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面,以限定从第一主表面到第一腔体长度的第一腔体,所述金属连接件在第一主表面处包括小于12μm的涂层厚度。另外,所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面,以限定从第二主表面到第二腔体长度的第二腔体,所述金属连接件在第二主表面处包括小于12μm的涂层厚度,并且完全填充第一腔体与第二腔体之间的通孔。
公开/授权文献
- CN113646280A 可靠性改进的气密性金属化通孔 公开/授权日:2021-11-12