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公开(公告)号：CN113646280A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202080025773.9
申请日：2020-01-20
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 根据本文所述的各个实施方式，一种制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材，其具有第一主表面以及与第一主表面相对的第二主表面；以及在轴向方向上穿过基材而从第一主表面延伸轴向长度到达第二主表面的通孔。所述制品还包括设置在内表面上的氦气气密性粘附层；以及设置在通孔内的金属连接件，其中，所述金属连接件粘附于氦气气密性粘附层。所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面，以限定从第一主表面到第一腔体长度的第一腔体，所述金属连接件在第一主表面处包括小于12μm的涂层厚度。另外，所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面，以限定从第二主表面到第二腔体长度的第二腔体，所述金属连接件在第二主表面处包括小于12μm的涂层厚度，并且完全填充第一腔体与第二腔体之间的通孔。
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公开(公告)号：CN113474311A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202080016180.6
申请日：2020-02-04
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： C·A·欧克洛
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 用于加热具有铜金属化贯穿孔的玻璃或玻璃陶瓷的方法包括将制品从第一温度加热至第二温度。第一温度大于或等于200℃且小于或等于300℃，而第二温度大于或等于350℃且小于或等于450℃。在将制品从第一温度加热至第二温度期间的平均加热速率大于0.0℃/分钟且小于8.7℃/分钟。制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材，具有在厚度方向上穿透基材的至少一个贯穿孔；及包括存在于至少一个贯穿孔中的铜。制品不包括径向裂痕。
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公开(公告)号：CN113646280B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202080025773.9
申请日：2020-01-20
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 根据本文所述的各个实施方式，一种制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材，其具有第一主表面以及与第一主表面相对的第二主表面；以及在轴向方向上穿过基材而从第一主表面延伸轴向长度到达第二主表面的通孔。所述制品还包括设置在内表面上的氦气气密性粘附层；以及设置在通孔内的金属连接件，其中，所述金属连接件粘附于氦气气密性粘附层。所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面，以限定从第一主表面到第一腔体长度的第一腔体，所述金属连接件在第一主表面处包括小于12μm的涂层厚度。另外，所述金属连接件沿着通孔的轴向长度涂覆通孔的内表面，以限定从第二主表面到第二腔体长度的第二腔体，所述金属连接件在第二主表面处包括小于12μm的涂层厚度，并且完全填充第一腔体与第二腔体之间的通孔。
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公开(公告)号：CN115553072A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202180033960.6
申请日：2021-04-29
申请人： 康宁股份有限公司
摘要： 公开了一种包括具有倾斜覆盖层的过孔的基材。该基材可包括具有第一表面、与该第一表面相背的第二表面、及过孔的基材，该过孔自该第一表面穿至该第二表面。该过孔可被金属层涂布，该金属层包括该第一表面上的第一倾斜覆盖层，且该第一倾斜覆盖层可包括第一外边缘，该第一外边缘与该第一表面形成大于95°的第一斜角。该基材可包括第二倾斜覆盖层，该第二倾斜覆盖层包括第二外边缘，该第二外边缘与该第二表面形成大于95°的第二斜角。还公开了制造倾斜覆盖层的方法。
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公开(公告)号：CN112292360B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN201980038563.0
申请日：2019-04-08
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 制品包括：具有第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面的玻璃或玻璃陶瓷基材，以及在轴向尺度的轴向长度上从所述第一主表面延伸到所述第二主表面贯穿基材的至少一个通孔。制品还包括布置在通孔内气密密封了通孔的金属连接物。在1000次热冲击循环之后，制品具有小于或等于1.0x10‑8atm‑cc/s的氦气气密性，每次热冲击循环包括：将制品冷却到‑40℃的温度和将制品加热到125℃的温度；以及在温度为130℃和相对湿度85％的100小时的HAST之后，制品具有小于或等于1.0x10‑8atm‑cc/s的氦气气密性。
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公开(公告)号：CN113474311B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202080016180.6
申请日：2020-02-04
申请人： 康宁股份有限公司
发明人： C·A·欧克洛
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 用于加热具有铜金属化贯穿孔的玻璃或玻璃陶瓷的方法包括将制品从第一温度加热至第二温度。第一温度大于或等于200℃且小于或等于300℃，而第二温度大于或等于350℃且小于或等于450℃。在将制品从第一温度加热至第二温度期间的平均加热速率大于0.0℃/分钟且小于8.7℃/分钟。制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材，具有在厚度方向上穿透基材的至少一个贯穿孔；及包括存在于至少一个贯穿孔中的铜。制品不包括径向裂痕。
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公开(公告)号：CN113728420A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080027291.7
申请日：2020-01-22
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： H01L21/48 , H01L23/15 , H01L23/498
摘要： 根据各个实施方式，一种制品包括玻璃或玻璃陶瓷基材，其具有第一主表面以及与第一主表面相对的第二主表面；以及在轴向方向上穿过基材而从第一主表面延伸轴向长度L到达第二主表面的通孔，所述通孔限定了内表面；以及第一轴向部分、第三轴向部分和沿着轴向方向设置在第一轴向部分与第三轴向部分之间的第二轴向部分。所述制品还包括至少设置在第一轴向部分和/或第三轴向部分中的内表面上的氦气气密性粘附层；以及设置在通孔内的金属连接件，其中，所述金属连接件粘附于氦气气密性粘附层。所述金属连接件在通孔的轴向长度L内完全填充通孔，所述通孔具有小于或等于30μm的最大直径Φ最大，以及轴向长度L，并且所述最大直径Φ最大满足方程：
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公开(公告)号：CN112292360A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201980038563.0
申请日：2019-04-08
申请人： 康宁股份有限公司
IPC分类号： C03C17/06 , H01L23/15 , H01L23/498 , H01L21/768
摘要： 制品包括：具有第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面的玻璃或玻璃陶瓷基材，以及在轴向尺度的轴向长度上从所述第一主表面延伸到所述第二主表面贯穿基材的至少一个通孔。制品还包括布置在通孔内气密密封了通孔的金属连接物。在1000次热冲击循环之后，制品具有小于或等于1.0x10‑8atm‑cc/s的氦气气密性，每次热冲击循环包括：将制品冷却到‑40℃的温度和将制品加热到125℃的温度；以及在温度为130℃和相对湿度85％的100小时的HAST之后，制品具有小于或等于1.0x10‑8atm‑cc/s的氦气气密性。
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