本发明公开了一种低压氧等离子体清洗有机污染物的性能评价方法，包括：利用峰值透过率获得特定碳氢类有机污染物空间浓度；按照碳原子数分配的氢原子个数改写确定的特定碳氢类有机污染物等效浓度；通过拟合确定的由化学反应常数、活性氧原子空间浓度及按碳原子数分配的氢原子个数构建的评价系数。本发明利用基于透过率测试的碳氢污染物等效空间浓度获得低压氧等离子体的评价系数，可以用于评价不同状态的低压氧等离子体对多孔增透膜内特定碳氢类有机污染物清洗性能。