Invention Publication
CN113782520A 管芯堆叠结构及其制造方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 管芯堆叠结构及其制造方法
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Application No.: CN202111077314.8Application Date: 2021-09-14
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Publication No.: CN113782520APublication Date: 2021-12-10
- Inventor: 陈宪伟 , 陈洁 , 陈明发 , 叶松峯 , 陈英儒
- Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Applicant Address: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee: 台湾积体电路制造股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号
- Agency: 南京正联知识产权代理有限公司
- Agent 王素琴
- Priority: 17/026,274 20200920 US
- Main IPC: H01L25/065
- IPC: H01L25/065 ; H01L23/31 ; H01L21/56

Abstract:
一种管芯堆叠结构包括内连结构、逻辑管芯、控制管芯、第一绝缘包封体、虚设管芯、存储器立方体及第二绝缘包封体。逻辑管芯电连接到内连结构。逻辑管芯包括第一介电接合结构。控制管芯在侧向上与逻辑管芯隔开且电连接到内连结构。第一绝缘包封体在侧向上包封逻辑管芯及控制管芯。虚设管芯堆叠在逻辑管芯上,逻辑管芯位于内连结构与虚设管芯之间,虚设管芯包括第二介电接合结构,且接合界面位于第一介电接合结构与第二介电接合结构之间。存储器立方体堆叠在控制管芯上且电连接到控制管芯,其中控制管芯位于内连结构与存储器立方体之间。第二绝缘包封体在侧向上包封虚设管芯及存储器立方体。
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