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公开(公告)号:CN116631879A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202310307699.5
申请日:2023-03-27
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
摘要: 根据本申请的实施例,提供了一种形成封装件的方法包括形成第一封装组件,其包括中介层和接合到中介层的第一侧的第一管芯。第二管芯接合到中介层的第二侧。第二管芯包括衬底和贯穿衬底的贯通孔。该方法还包括通过多个第一焊料区域将第二封装组件接合到第一封装组件。第一封装组件还通过第二管芯中的贯通孔电连接到第二封装组件。第二管芯还通过多个第二焊料区域接合到第二封装组件。根据本申请的其他实施例,提供了封装件。
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公开(公告)号:CN113782520A
公开(公告)日:2021-12-10
申请号:CN202111077314.8
申请日:2021-09-14
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L25/065 , H01L23/31 , H01L21/56
摘要: 一种管芯堆叠结构包括内连结构、逻辑管芯、控制管芯、第一绝缘包封体、虚设管芯、存储器立方体及第二绝缘包封体。逻辑管芯电连接到内连结构。逻辑管芯包括第一介电接合结构。控制管芯在侧向上与逻辑管芯隔开且电连接到内连结构。第一绝缘包封体在侧向上包封逻辑管芯及控制管芯。虚设管芯堆叠在逻辑管芯上,逻辑管芯位于内连结构与虚设管芯之间,虚设管芯包括第二介电接合结构,且接合界面位于第一介电接合结构与第二介电接合结构之间。存储器立方体堆叠在控制管芯上且电连接到控制管芯,其中控制管芯位于内连结构与存储器立方体之间。第二绝缘包封体在侧向上包封虚设管芯及存储器立方体。
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公开(公告)号:CN113517205A
公开(公告)日:2021-10-19
申请号:CN202110307315.0
申请日:2021-03-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
摘要: 形成半导体器件的方法,包括:在该半导体器件的第一器件区域中的衬底中形成第一电子组件;在该第一电子组件上方形成第一互连结构,并将该第一互连结构电耦合到该第一电子组件;在该第一互连结构上方形成第一钝化层,该第一钝化层从第一器件区域延伸到与第一器件区域相邻的划线区域;在形成第一钝化层之后,从划线区域去除第一钝化层,同时将第一钝化层的剩余部分保持在第一器件区域中;以及在去除第一钝化层之后沿划线区域切割。本申请的实施例还涉及半导体器件。
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公开(公告)号:CN113471141A
公开(公告)日:2021-10-01
申请号:CN202110197941.9
申请日:2021-02-22
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L21/768 , H01L23/538 , H01L27/08 , H01L23/64
摘要: 本文公开了形成超高密度金属‑绝缘体‑金属(SHDMIM)电容器和半导体器件的方法。该方法包括:在半导体衬底上方沉积第一绝缘层,并在第一绝缘层上方沉积被一系列介电层隔开的一系列导电层,一系列导电层包括器件电极和伪金属板。穿过一系列导电层的第一组接触塞接触一系列导电层的第一部分中的一个或多个导电层。穿过一系列介电层的第二组接触塞避免接触一系列导电层的第二部分,一系列导电层的第二部分电浮置。本申请的实施例提供了封装件、半导体器件及其形成方法。
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公开(公告)号:CN109786266B
公开(公告)日:2021-07-13
申请号:CN201810460994.3
申请日:2018-05-15
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
摘要: 在实施例中,封装件包括第一封装结构,该第一封装结构包括:具有有源侧和背侧的第一集成电路管芯,有源侧包括管芯连接件;邻近第一集成电路管芯的第二集成电路管芯,第二集成电路管芯具有有源侧和背侧,有源侧包括管芯连接件;布线管芯,布线管芯包括接合至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的有源侧的管芯连接件,布线管芯将第一集成电路管芯电连接至第二集成电路管芯;密封第一集成电路管芯、第二集成电路管芯和布线管芯的密封剂;以及位于第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的管芯连接件上并且电连接至第一集成电路管芯和第二集成电路管芯的管芯连接件的第一再分布结构。本发明的实施例还涉及半导体封装件及其形成方法。
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公开(公告)号:CN108155166A
公开(公告)日:2018-06-12
申请号:CN201710992519.6
申请日:2017-10-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L23/485 , H01L21/60
CPC分类号: H01L23/5283 , H01L23/5226 , H01L24/02 , H01L24/16 , H01L24/19 , H01L24/20 , H01L24/24 , H01L24/25 , H01L24/73 , H01L24/92 , H01L24/96 , H01L24/97 , H01L25/0657 , H01L25/105 , H01L25/50 , H01L2224/0233 , H01L2224/02373 , H01L2224/02375 , H01L2224/02379 , H01L2224/02381 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/16235 , H01L2224/24147 , H01L2224/25171 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73209 , H01L2224/73265 , H01L2224/73267 , H01L2224/92244 , H01L2224/97 , H01L2225/0651 , H01L2225/06568 , H01L2225/1035 , H01L2225/1041 , H01L2225/1058 , H01L2924/00014 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/3512 , H01L2224/83 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2924/00 , H01L24/05 , H01L2224/0231 , H01L2224/02331
摘要: 本发明实施例公开一种具有提高的性能及可靠性的集成电路封装。所述集成电路封装包括集成电路管芯及布线结构。所述集成电路管芯包括具有周边边缘的导通孔。所述布线结构包括耦合到所述导通孔的导电结构。所述导电结构可包括顶盖区、布线区以及中间区。所述顶盖区可与所述导通孔的区域重叠。所述布线区可具有第一宽度,且所述中间区可沿所述导通孔的所述周边边缘具有第二宽度,其中所述第二宽度可大于所述第一宽度。所述中间区可被配置成将所述顶盖区连接到所述布线区。
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公开(公告)号:CN104851842B
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201410165979.8
申请日:2014-04-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号: H01L25/0657 , H01L21/565 , H01L23/12 , H01L23/13 , H01L23/3107 , H01L23/3114 , H01L23/3128 , H01L23/49811 , H01L23/50 , H01L23/538 , H01L23/5384 , H01L23/5386 , H01L23/5389 , H01L23/562 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/17 , H01L24/19 , H01L24/27 , H01L24/32 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/81 , H01L24/83 , H01L24/92 , H01L24/97 , H01L25/105 , H01L25/50 , H01L2224/0401 , H01L2224/04105 , H01L2224/1132 , H01L2224/11334 , H01L2224/1145 , H01L2224/11462 , H01L2224/11849 , H01L2224/12105 , H01L2224/13082 , H01L2224/13109 , H01L2224/13111 , H01L2224/13116 , H01L2224/13124 , H01L2224/13139 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13155 , H01L2224/13164 , H01L2224/16225 , H01L2224/1703 , H01L2224/17181 , H01L2224/2518 , H01L2224/27015 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/32258 , H01L2224/32502 , H01L2224/45144 , H01L2224/45147 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73204 , H01L2224/73259 , H01L2224/73265 , H01L2224/81815 , H01L2224/92125 , H01L2224/97 , H01L2225/0651 , H01L2225/06513 , H01L2225/06568 , H01L2225/06572 , H01L2225/06586 , H01L2225/1035 , H01L2225/1058 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2924/1205 , H01L2924/1206 , H01L2924/1207 , H01L2924/1431 , H01L2924/1432 , H01L2924/1434 , H01L2924/15153 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/19043 , H01L2924/19104 , H01L2924/351 , H01L2924/00012 , H01L2224/82 , H01L2924/00 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
摘要: 本发明的实施例包括器件及其形成方法。一个实施例涉及一种器件,该器件包括:位于衬底的第一侧上方的阻焊涂层、通过第一连接件接合至衬底的第一侧的管芯的有源表面、以及通过第二组连接件安装至管芯的表面安装器件,表面安装器件位于管芯和衬底的第一侧之间,表面安装器件与阻焊涂层间隔开。本发明涉及包括嵌入式表面安装器件的半导体器件及其形成方法。
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公开(公告)号:CN107342235A
公开(公告)日:2017-11-10
申请号:CN201710137470.6
申请日:2017-03-09
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L21/56
摘要: 一种堆叠式封装装置的制造方法:(i)接收前驱物封装,前驱物封装包括前驱物基板及前驱物基板上的多个半导体封装,其中在前驱物基板与半导体封装的每一者之间存在缝隙;(ii)形成填充缝隙的底部封胶材料;(iii)沿着半导体封装的相邻多者之间的区域切割前驱物基板,以形成多个离散的堆叠式封装装置;以及(iv)将补充底部封胶材料应用至这些堆叠式封装装置中的一个堆叠式封装装置。
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公开(公告)号:CN107039290A
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201611202277.8
申请日:2016-12-23
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
摘要: 本发明的实施例提供了一种半导体器件,以及降低应用底部填充材料时毒害凸块下金属的风险的方法。在实施例中,间隔件位于第一凸块下金属和第二凸块下金属之间。当在第一凸块下金属和第二凸块下金属之间分配底部填充材料时,间隔件防止底部填充材料朝向第二凸块下金属蔓延。在另一实施例中,分配底部填充材料时,使用钝化层抑制底部填充材料的流动。本发明的实施例还提供了一种制造半导体器件的方法。
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公开(公告)号:CN103378049B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201310092304.0
申请日:2013-03-21
申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC分类号: H01L23/498 , H01L21/48
CPC分类号: H01L24/06 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L2224/0401 , H01L2224/05008 , H01L2224/05541 , H01L2224/05548 , H01L2224/05552 , H01L2224/05567 , H01L2224/05569 , H01L2224/05572 , H01L2224/05644 , H01L2224/0603 , H01L2224/06131 , H01L2224/06133 , H01L2224/06179 , H01L2224/1134 , H01L2224/13005 , H01L2224/13022 , H01L2224/131 , H01L2224/13111 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/13166 , H01L2224/13181 , H01L2224/16145 , H01L2224/16238 , H01L2224/81191 , H01L2924/00014 , H01L2924/10253 , H01L2924/1306 , H01L2924/014 , H01L2924/00 , H01L2924/207 , H01L2924/206
摘要: 一种半导体器件包括具有第一和第二导电焊盘的半导体管芯,以及具有第三和第四接合焊盘的衬底。在内部区域的第一导电焊盘相对于第三接合焊盘的宽度比不同于在外部区域的第二导电焊盘相对于第四接合焊盘的宽度比。本发明提供了用于IC封装的应力减小结构。
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