发明授权
- 专利标题: 电子陶瓷基片一体烧结方法
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申请号: CN202111106907.2申请日: 2021-09-22
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公开(公告)号: CN113831143B公开(公告)日: 2023-05-30
- 发明人: 尚华 , 王刚 , 段冰 , 林贵洪
- 申请人: 宜宾红星电子有限公司
- 申请人地址: 四川省宜宾市叙州区城北新区仁友路1号
- 专利权人: 宜宾红星电子有限公司
- 当前专利权人: 宜宾红星电子有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省宜宾市叙州区城北新区仁友路1号
- 代理机构: 成都虹桥专利事务所
- 代理商 刘扬
- 主分类号: C04B35/638
- IPC分类号: C04B35/638 ; C04B35/64 ; C04B35/10 ; C04B35/08 ; H01L21/48
摘要:
本发明涉及电子陶瓷材料制备工艺领域,尤其是一种有效提高电子陶瓷基片品质,同时由于陶瓷基片熟烧和复平两个工序合并为一个烧结工序,还可以节能减排,又能缩短生产制造周期的电子陶瓷基片一体烧结方法,包括如下步骤:a、陶瓷基片坯体的排胶脱脂处理;b、钨钼片间夹陶瓷基片的设置;c、还原气氛炉的烧结;d、熟烧和复平一体烧结,分别取出钨钼片及陶瓷基片得到产品。本方法烧结后,产品的翘曲度可以直接达到0.05mm以内,陶瓷体积密度不受压烧影响而降低,烧结后基片表面粗糙度可直接达到0.1μm以下,整体产品性能优良,满足高端陶瓷基片需求。本发明尤其适用于电子陶瓷基片一体烧结工艺之中。
公开/授权文献
- CN113831143A 电子陶瓷基片一体烧结方法 公开/授权日:2021-12-24
IPC分类: