电子陶瓷基片一体烧结方法
摘要:
本发明涉及电子陶瓷材料制备工艺领域,尤其是一种有效提高电子陶瓷基片品质,同时由于陶瓷基片熟烧和复平两个工序合并为一个烧结工序,还可以节能减排,又能缩短生产制造周期的电子陶瓷基片一体烧结方法,包括如下步骤:a、陶瓷基片坯体的排胶脱脂处理;b、钨钼片间夹陶瓷基片的设置;c、还原气氛炉的烧结;d、熟烧和复平一体烧结,分别取出钨钼片及陶瓷基片得到产品。本方法烧结后,产品的翘曲度可以直接达到0.05mm以内,陶瓷体积密度不受压烧影响而降低,烧结后基片表面粗糙度可直接达到0.1μm以下,整体产品性能优良,满足高端陶瓷基片需求。本发明尤其适用于电子陶瓷基片一体烧结工艺之中。
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